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项目名称 | 紫外光刻机采购 | 项目编号 | TYLGJJCG****-**** |
项目编号 | TYLGJJCG(略) | ||
公告发布日期 | ****/10/20 16:(略) | 公告截止日期 | ****/10/23 16:(略) |
公告截止日期 | ****/10/23 16:(略) | ||
采购单位 | **理工大学 | 付款条款 | 货到验收合(略)。 |
付款条款 | 货到验收合格后,一次性支付全款。 | ||
联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系手机 | 中标后(略) |
联系手机 | 中标后在我参与的项目中查看 | ||
是否本地化服务 | 否 | 是否需要踏勘 | 否 |
是否需要踏勘 | 否 | ||
踏勘联系人 | 踏勘联系电话 | ||
踏勘联系电话 | |||
踏勘地点 | 踏勘联系时间 | ||
踏勘联系时间 | |||
采购预算 | ¥199,500.00 | ||
送货/施工/服务期限 | 合同生效之(略) | ||
送货/施(略) | **省**市榆次区大学街209号**理工大学明向校区 |
采购内容 | 是否进口 | 计量单位 | 采购数量 | 售后服务 | |
紫外光刻机 | 否 | 套 | 1 | 免费上门安装调试培训,免费配套服务期2年。免费配套服务期内出现质量问题厂家负责维修和更换,以及光刻机的安装和调试,都由供应商负责。 | |
品牌及型号 | 飞诚光电(FC(略)) 魔技纳米科技(MN-(略)(Standard)) | ||||
技术参数要求 | 1.曝光面积:4英寸 2.曝光波长:365nm 3.★分辨力:0.8 μm-1μm 4.★掩模样片整体工件台运动范围:X:15mm;Y:15mm 5.掩模尺寸: 5英寸,向下兼容 6.样片尺寸:4英寸,向下兼容,支持碎片 7.厚度可适应0.1mm--2mm(最大可扩展为15mm) 8.曝光方式:定时(倒计时方式) 9.具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光,以及接近式曝光四种10.功能 11.调平接触压力通过传感器保证重复 12.数字设定对准间隙和曝光间隙 13.掩模相对于样片运动行程: 14.X: ±5mm; Y: ±5mm; q: ±6o 15.★最大焦厚:400 μm(SU8胶,用户提供检测条件) 16.光源平行性:2.5 o 17.曝光能量密度:>35mW/cm2 18.单层曝光一键完成 19.采用球气浮自动找平 20.照明不均匀性:±2.5%( Φ100mm范围); 21.曝光光源:紫外LED; 22. 设备主要由均匀照明曝光系统、工件台系统、电控系统、气动控制系统及辅助配套设备构成。 |
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