位置>千里马招标网> 招标中心> 深圳技术大学等离子增强化学沉积仪(PECVD)等设备意向公开
您尚未开通该权限!
咨询客服:400-688-2000,掌握更多商机线索!
- 咨询:400-688-2000查看全部商机
采购单位: | (略) |
项目名称: | 等离子增强化(略)(PECVD)等设备 |
预算金额(元): | (略) |
采购品目: | (略) |
采购需求概况: | (略) 一、等离子(略)(PECVD),1套: 1.晶圆大小:8英寸向下兼容,采用托盘方式兼容;2.配置放置8、6、4、3、2英寸的晶圆托盘;3.RF电源:13.56MHz, 0~600W;4.晶圆载台加热器最高温度: 350°C;5.工艺气路:SiH4, NH3, N2O, N2, O2, CF4;6.成膜材料:SiO2, SiNx;7.片内和片间膜均匀性:≤±5%;8.腔体结构:传送腔 沉积工艺腔。 二、LPCVD扩散炉,1套: 1、炉管适用晶圆尺寸:6英寸及以下圆片,产量≥25片/批;2、炉管功能:第一管干氧/湿氧氧化,第二管氮化硅制备,第三管常压/真空退火;3、真空系统参数:系统极限真空度≤5Pa,工作压力及精度:10Pa-40Pa、1Torr(真空计),恢复真空时间:常压(AP)至10Pa≤10min,系统漏气率≤5E-10 Pa﹒m3/s;4、气路系统:MFC控制,控制精度≤±1%F﹒S,漏率≤5E-10Pa﹒m3/s,气体最大流量:氮气/氧气20L、氢气10L、氨气500SCCM、二氯二氢硅200SCCM;5、温控范围:氧化管:600(略),LP(略):600℃-800℃,真空退火管:600℃-****℃;6、恒温区长度:300mm,精度:≤±0.5℃(>800℃)、≤1℃(<800℃),单点温度稳定性:≤±0.5℃/4h @900℃,炉体升温速率:最大升温速率:10℃/min,最大降温速率:3℃/min;7、温度控制方式:三段内外热偶双回路温度控制,自动校温区,能快速回温;8、片内及片间薄膜均匀性:≤±3%(6英(略),薄膜300nm,边缘排除5mm);9、送片方式:自动进出舟送片。 三、电(略),1套: 1.设备实现工艺:在不同基片材料上使用各种镀膜材料进行光学薄膜的蒸镀,材料至少包含SiO2,Nb2O5,Si,MgF2;2.能满足8英寸及向下兼容基片的蒸镀需求,适配公转盘垂直蒸镀;满足3英寸/4英寸基片可调角度的斜向蒸镀;3.极限真空:≤7E-7mbar;4.薄膜厚度均匀性(8英寸):≤±3%,折射率均匀度≤±3%;5.双电子束蒸发器,功率≥10kW,用于蒸镀材料的多穴直接水冷坩埚,坩埚数≥10,坩埚口径≥40mm;6.基片加热系统可加热到350°C,温控在±10°C以内;7.物理厚度监控系统配置有晶振6位探头的晶控系统,最小精度0.1/S,有自动切换功能;8.配备反射光学控制系统。 |
联系人: | (略) |
联系电话: | (略) |
预计采购时间: | (略) |
备注: | 无 |
注册会员享贴心服务
项目查询服务
·让您全面及时掌握全国各省市拟建、报批、立项、施工在建项目的项目信息
·帮您跟对合适的项目、找对准确的负责人,全面掌握各项目的业主单位、设计院、总包单位、施工企业的项目经理、项目负责人的详细联系方式
·帮您第一时间获得全国项目业主、招标代理公司和政府采购中心发布的招标、中标项目信息
项目定制服务
·根据您的关注重点定制项目,从海量的项目中筛选出符合您的要求和标准的工程并及时找出关键负责人和联系方式
·根据您的需要,向您指定的手机、电子邮箱及时反馈项目进展情况
- 猜你喜欢
- 更多深圳市招标采购信息
- 【崇阳县中心】崇阳县金塘、港口等乡
- 11月01日
- 广州市花都区秀全街乐泉小学校门及停
- 11月01日
- 【地价评估】平昌县金宝新区收购储备
- 11月01日
- 2023年10月12日建设项目环评
- 11月01日
- 龙湾街(沪杭高速-迎宾路)设计
- 11月01日
- 文旅公益宣传图文、视频制作及投放项
- 11月01日
- 威宁能源公司生产运营中心商用密码应
- 11月01日
- 医院南北两院PACS系统维保采购意
- 11月01日
- 人员住宿服务询价公告
- 11月01日
- 房屋住宿服务询价公告
- 11月01日
- 陕西华电山阳10万千瓦光伏工程林地
- 11月01日
- 湖北省潜江市张新灌区续建配套与现代
- 11月01日
-
深圳市建材网
深圳市采购信息网
深圳市政府公开信息
深圳市公共资源交易网
深圳市电力交易中心
深圳市交易中心
深圳市房产交易中心
深圳市工程交易中心
深圳市钢铁交易中心
深圳市建设交易中心
深圳市招投标交易中心
深圳市政府交易中心
深圳市造价信息网
深圳市市政工程信息网
深圳市水利工程信息网
深圳市通信工程信息网
深圳市医药招标网
深圳市建筑招标网
深圳市工程招标网
深圳市建设招标网
深圳市施工招标
深圳市装饰工程招标
深圳市建设工程网
深圳市水利招标信息网
深圳市电力招标网
深圳市建委招投标网
深圳市建筑管理网
深圳市建设信息港
深圳市教育招标网
深圳市装修招标
深圳市人力和社会保障局
深圳市建设网
深圳市总包工程
深圳市政府工程招标
深圳市工程施工招标
深圳市工程公开项目
深圳市工程采购信息
深圳市招标投标采购平台
深圳市省市工程建设网