位置>千里马招标网> 招标中心> 北航智能微纳公共创新中心5种设备机台配套工艺气体分配控制系统采购公告
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1. 采购货物有关信息
1、采购货物相关信息:
(1)货物名称:(略)
(2)技术指标:
序号 | 货物(略) | 详细参数要求 |
1 | (略) | |
硬件和性能参数 | 1. 匹配LPCVD/RPS/RTP/SPTS/真空互联系统**设备的工艺气体的分配和控制系统。 2. LPCVD设备配置6路O2/1路NH3/1路Ar工艺气体的分配和控制系统,配置氧气XCD(略)。 3. RPS设备配置O2/SF6/CF4各1路工艺气体的分配和控制系统。 4. RTP配置O2/Ar/He各1路工艺气体的分配和控制系统。 5. SPTS配置SF6/C4F8/PN2各1路工艺气体的分配和控制系统。 6. 真空互联系统配置Ar/O2/He各2路工艺气体的分配和控制系统,1路PN2工艺气体的分配和控制系统。 7. 配置的系统包含管道、阀门、压力表、接口、减压阀,配置的系统需符合半导体工艺气体相应纯度要求。 8. 配置的系统需要经过第三方的五项测试安全质量检测,能够满足半导体产线用工艺气体相应标准。 | |
2 | 售后服务 | |
售后服务 | 1、供应商应具备完善的售后服务体系,供应商有固定的维护人员并有能力及时处理所有可能发生的故障。 投标单位投标时必须在投标文件中明确地提供售后服务机构或厂家、地址、电话、联系人等资料。 2、在保质期以内,投标人在接到客户的维修通知对故障能在4小时内响应,24小时内派出有能力的维修人员赶到客户现场进行维修处理(若用(略),在招标文件的采购设备清单中特别提出)。 3、在保质期满后,投标人应保证以合理的价格提供备件和保养服务,当发生故障时,投标人应按保质期内同样的要求进行维修处理,合理收取维修费。 4、(略)。 5、优先考虑具有安全生产许可证、ISO9001质量管理体系、知识(略) |
(3)数量:
序号 | 产品 | 数量/单位 |
1 | 工艺气体分配系统 | 5套 |
(4)交货期:(略)
(5)交货地点:(略)
(6)是否接受进口产品:是
2、采购预算(最高限价):(略)
3、参选单位资格要求:
(1)在中华人民**国境内注册、响应招标、参加响应竞争的法人、其他组织或者自然人;
(2)响应人(供应商)应具备《中华人民**国政府采购法》第二十二条规定;
① 具有独立承担民事责任的能力;
② 具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度;
③ 具有履行合同所必需的设备和专业技术能力;
(3)本项目不接受联合体响应;
(4)本项目(略)
(5)近三年内,本项目响应截止期前,被“信用中国”网站列入失信被执行人和重大税收违法案件当事人名单的、被“中国政府采购网”网站列入政府采购严重违法失信行为记录名单(处罚期限尚未届满的),不得参与本项目;
(6)法律、行政法规关于“合格响应人”的其他条件。
4、报名方式(略):
报名方式:将报名信息(公司名称、地址、营业执照扫描件、销售人员姓名、联系方式等)发送至邮箱。截止报名时间:(略)x日17时。
5、竞价会时间及方式:
时间:(略)x日;方式:鉴于疫情影响,采取视频会议方式。具体时间和开会方式由学院采购工作领导小组办公室进一步通知。
6、参加竞价会所需提供材料:
11月xx日18:00前,参选供应商需将正式书面报价单和报名资料(均需加盖单位公章并密封好)邮寄至以下地址:
地址:(略)
常晓阳 老师收,手机号:(略)
7、采购项目经办人联系方式(采购项目咨询):
常晓阳 老师,邮箱:(略)
8、学院采购工作领导小组办公室联系方式(异议或投诉):
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