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2023年11月06日 16:(略)
高导低损碳/铜复合薄膜变温镀膜一体化连续制造系统 | |
项目(略): | |
采购单位: | (略) |
采购(略): | 高导低损碳/铜复合薄膜变温镀膜一体化连续制造系统 |
预算金额: | (略) |
采购品目: | A0205(略)02真空应用设备 |
采购需求概况 : | 由磁控溅射腔体、等离子体增强化学气相沉积腔体和进样室组成,各腔体(略)1.★极限真空度:≤1(略)Pa,所需时间:≤1h 2.★目标材料:金属,硬质薄膜,氮化物,氧化物 3.厚度均匀性:≤1% 4.目标厚度:0.1-30μm 5.★靶(略),范围50-150mm,靶枪辉光区域可移动 6.样品尺寸:3-6寸 7.★样品台立式放置,在垂直于溅射方向水平移动范围:±60mm,同时样品自转(转速在1-10rpm内可调) 8.★加热温度:≤800℃ 9.★温度均匀性:±2℃ 10.控温精度:≤2° 11.★温度均匀区:≥Φ300mm×300mm 12.★进气系统:数字式流量计匀气装置; 13.工艺气体:Ar,N2,O2 14.流量范围:0-100 SCCM 15.靶材制冷:温度波动不大于±0.2℃ 16.★功能特性:具有PE等离子外场功能(能量范围:0-500W) 17.★腔室互联:柔性无接触 18.★移动速度:0-3m/s 19.★负载范围:1kg-10kg 20.★速度波动:±5%(20mm/s) 21.★重复定位:5μm 22.★绝对定位:±300μm |
预计采购时间: | (略) |
备注: | 该设备为教育部贷款贴息项目“功能金属基复合材料创**台”(项目号:WH(略))所购序号为4的设备 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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