位置>千里马招标网> 招标中心> 电子科技大学 - 竞价结果公告(CB106142023000099)
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**** | SG202****699001高真空电子束沉积系统 | **** | 2023-11-14 09:09:48 | 2023-11-17 09:19:34 | 人民币 | 货到验收合格后付款 | 如果对成交结果有异议,请在发布成交结果之日起三个工作日内向采购单位提出质疑 | 395000.0 | 合同签订后7天内送达 | 免费上门安装(含材料费) |
SG202****699001高真空电子束沉积系统 | 泰科诺 | 400000.00 | 395000.00 | 1. 乙方应对甲方提供完善及时的售后服务和技术支持。受理甲方要求,在2小时内做出响应,如须现场解决问题,48小时内到达现场。 2. 在仪器到货后,乙方工程师将按用户的时间安排进行仪器安装调试,并对使用人员进行现场技术培训,免收技术培训费。 3. 提供整机免费保修≥1年,自设备安装、调试完毕,综合验收测试合格的次日起为设备交付及质量保证期限的开始。 4. 负责向甲方提供最新的仪器应用和最新技术资料。 | 1、真腔室≥φ500 mm×H600 mm,立式圆柱形、前开门结构、腔室采用水冷套冷却,材质为优质 304 不锈钢,所有焊缝连接采用氩弧自动焊接技术,内表面抛光,外表面进行电抛处理;腔室加热室温~150±1℃,PID 智能控温。2、基片台1套2.1 电机驱动旋转基片台,≥Φ150mm,插槽式,可装卡各种规格基片;转速 0~20 转/分钟可调;2.2 基片台水冷:15~30℃;2.3 不均匀性:≤±5%(基片台Φ120mm范围内);3、电子束蒸发源3.1 电子枪电源≥10kW,偏转角270°,1套;3.2电子枪气动挡板1 套。4、电阻蒸发源4.1 水冷铜电极2套,底部通水冷却,电极夹具高度可调。电极间有隔离板,防止相互污染; 4.2 蒸发电源1台,功率≥3 KW。低压大电流加热模式 0~10V,0~300 A 可调可控;5、膜厚控制系统:提供一套进口膜厚监测系统,膜厚和速率分辨率≤±0.37 ,需注明生产厂家、品牌型号和规格参数;6、真空系统6.1 真空机组采用“复合分子泵+涡旋干泵+高真空阀门+数显复合真空计”高真空系统;6.2 极限真空:优于6.0×10-5Pa;6.3 分子泵抽速:≥1200 L/S;6.4 涡旋干泵(进口)抽速:≥8 L/S;7、水路系统7.1 标准制冷量≥ 9.45 KW;温度 15~25 ℃可控;7.2 冷却水总进水采用水压继电器控制,缺水报警;8、电气控制系统8.1 采用PLC+工控机+液晶屏全自动控制系统,可实现一键式自动抽真空;8.2可实现工艺菜单编辑,真空度、温度、电源参数、镀膜时间等工艺参数的写入与修改;8.3自动储存设备运行的历史记录,可随时查看及拷贝;8.4可根据客户工艺操作习惯,定制操作界面布局、工艺数据及工艺数据曲线显示模式,扩展数据储存量等;8.5 安全保护报警系统:在缺水、水压过低、过流过压、断路等情况下的报警系统;完善的逻辑程序互锁保护系统;9、控制柜与机架铝合金外框包装,腔室与电控为分体,底下配脚轮,方便移动、定位;10、辅助部件配齐该镀膜设备的外围设备:冷却循环水机台,静音气泵各1台,所需试验蒸镀材料,保证设备就位后即能开展工作。 | 1.0 | TEMD500 | 395000.00 | **** |
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