位置>千里马招标网> 招标中心> 高真空多靶磁控溅射镀膜机(JJ2023000278)采购公告
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高真空多靶磁控溅射镀膜机 | 项目编号JJ(略) | |
****-11-23 14:45:45 | 公告截止日期****-11-26 16:00:00 | |
**大学 | 付款方式内贸:合同签订后,甲方向乙(略),全部货物交货(略),乙方向甲方提供全额的正式发票(10万元以上的国产设备乙方必须提供全额的增值税专用发票),甲方向乙方支付剩余50%的合同款。 | |
联系电话 | ||
到货时间要求 | 内贸:(略) | |
¥(略).00 | ||
**大学(略) | ||
符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
高真空多靶磁(略) | 1 | 台 | 电子(略) |
**泰科诺 |
JCP500 |
¥ (略).00 |
1.真空腔室:Ф500×H420mm,SUS304 优质不锈钢真空腔室,前开门结构,顶板焊水线;2.真空系统:复合分子泵+直联高速旋片式真空泵+高真空阀门+数显复合真空计;3.真空极限:6.0×10-5Pa(设备空载,抽真空 24 小时);4.升压率:设备升压率:≤0.8Pa/h(12 小时平均值);设备保压:停泵 12 小时后,设备真空度≤10Pa;5.抽速:从大气抽至 5.0×10-3Pa≤15min(设备空载);从大气抽至 5.0×10-3Pa≤10min(设备空载,干燥氮气环境);6.溅射靶及电源①配置3套3英寸永磁共焦磁控溅射靶(靶角度(略)),向上溅射;可以溅射磁性材料,磁控靶配有气动挡板结构;②工作方式:各靶可独立/顺次/共同工作,采用磁控靶从下向上溅射镀膜;③电源:直流脉冲溅射电源 1kW,数字化控制及显示,1 台;射频电源 RF500W, 数字化控制及显示,2 台;(略):-1kV, 数字化控制及显示,1 台。 |
质量保证期:验收合格之日起算两年;服务网点:国内;维修响应时限:报修后24小时内响应;电话支持:7×24小时;备用机:48小时内无法排除故障,免费提供同档次备用机;质保期外:质保期外承担终身维修服务,维修过程只收取配件费,且以最优惠价格提供; |
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