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****年(略)月19日 14:(略)
(略) | |
项目所在采购意向: | |
采购单位: | (略) |
采购项目名称: | (略) |
预算金额: | (略) |
采购品目: | (略) |
采购需求概况 : | 本次购买的(略)(1台)是微纳加工中的重要设备,主要用于纳米和微纳电子器件加工,用于高质量、厚度精确控制的金属和氧化物薄膜的生长。需配备1套6坩埚电子束蒸发源,坩埚容量不小于7cc,配有不小于6kW供电电源,最高电压不低于10kV,电流不低于600mA,在清洁干燥的系统中极限真空度优于9*10-8Torr。 |
预计采购时间: | (略) |
备注: |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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