南方海洋科学与工程广东省实验室（珠海）桌面原子层沉积机采购项目

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南方海洋科学与工程广东省实验室（珠海）桌面原子层沉积机采购项目

广东-珠海-珠海市状态：公告

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更新时间:

2024年02月20日

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实验室

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****（**）桌面原子层沉积机采购项目

发布时间： 2024-02-20 08:58

项目概况

项目编号	****
项目名称	**（）桌面原子层沉积机采购项目
申购主题	桌面原子层沉积机
项目类型	货物采购	项目预算
采购开始时间	2024-02-20 08:58	采购结束时间	2024-02-26 09:00
采购单位	**（）
经办人	沈老师	经办人电话	186****1497
期望收货时间	合同签订后3天交货
是否送货	是	送货地址	大学校区海琴4号楼D401
电子签章	无需使用
备注	1、国内供货请报含税人民币价；境外供货（进口）请报免税人民币价或外币价，**公司必须有境外人民币收款账户。 2、进口货物中如有国内供货部分，供应商在报价时应分别报价，境外供货部分、国内供货部分的币种选择见第1条，并分别签订进口货物购销协议和国内采购合同。3. 外贸进口有关的一切费用（包括但不限于外贸代理费用、清关费用、银行手续费、海关监管手续费、报关费用、商检费用、申办机电批文费用、机场码头费等）。”均由中标方承担，需含在投标总价中。其中，“外贸代理费用”（红字部分公司（中**公司）代理手续费，实验室与中****公司签订的协议执行，中标方收费标准请见附件；其他费用在实际过程中产生，按附件表格标准收取。

采购明细

1采购设备	桌面原子层沉积机
数量	1台
参考品牌

技术要求

序号技术要求内容评分等级是否需要附件说明

1	设备整体尺寸≤550mmx450mmx450mm	非常重要	是
2	工艺温度：正常室温到200℃之间可调	重要	是
3	成膜不均匀性：lt;1%（氧化铝）；	重要	是
4	前驱体源：配备不少于3个单管式50ml 前驱体源，一条清扫气线；	重要	是
5	源瓶配备不少于3个单管式50ml前驱体源，含3个手阀；	重要	是
6	源瓶加热器配备不少于1 个 180℃单管加热器，精度：180±1 °C	重要	是
7	进样室采用抽屉式样品装载样品，可装载4寸晶圆片；	非常重要	是
8	腔体需为真空腔体，200℃高温腔体，温度控制精度 200 ±1 °C；	非常重要	是
9	设备包括多组毫秒级 ALD 阀门，响应时间≤5ms，ALD 阀组采用紧凑式面板安装，氧化源管路采用双ALD阀门设计	非常重要	是
10	阀组采用自动化加热，最高加热温度 ≥180 °C；	非常重要	是
11	气体质量流量计： 1 个精确的载气流量控制，氩/氮气最大量程 200sccm；	重要	是
12	真空规：薄膜真空规，实时显示工艺压力，标准 10torr 电容薄膜	重要	是
13	真空泵抽速：12m3/H 进口油泵，含泵前段返油过滤器，泵后端油雾过滤器，反应腔抽真空时间≤10S	非常重要	是
14	设备极限真空度≤50mtorr	重要	是
15	需配备腔体衬板，提高腔体使用寿命，便于维护清洗，减少 particle 脱落	非常重要	是
16	配备专业的 ALD 泵前级过滤器，保护真空泵	重要	是
17	需配备一体式工控机≥10.1 寸，带触摸功能；	重要	是
18	软件基本功能：行业标准多个 GUI 界面，用于自动和手动操作，系统监视器，报警和配方编辑，工艺菜单编辑功能，简易工步预设格式，多工艺菜单存储功能；	重要	是
19	报警及安全控制：配备温度，压力，气体流量，源串扰，卸载，电气和气动控制异常报警系统	重要	是
20	可集成最高浓度 10%臭氧发生器模块，替代水工艺；	重要	是

资质要求

序号要求名称条件类型要求内容是否需要附件说明

1	第3条资质参数	符合性参数	填写并要求上传“法定代表人授权书”（需按授权书要求签字并加盖公章）	是
2	第2条资质参数	符合性参数	填写并按要求上传“廉洁承诺书”（需签字并盖公盖章）	是
3	第5条资质参数	符合性参数	供应商信用-投标供应商需提供在信用中国或其他权**用查询网站的信用报告;报告中需写明供应商的经营许可范围;若未写明经营许可范围;需再提供佐证材料	是
4	第1条资质参数	符合性参数	上传营业执照(副本原件扫描件)	是
5	第4条资质参数	符合性参数	填写并按要求上传“供应商资格声明”（需签字并盖公章）	是

商务要求

序号要求名称要求内容是否需要附件说明

1	产品销售渠道（要求上传“制造厂商出具的授权函”）	厂家（生产商）直接销售（出具厂家声明格式自拟）厂家（生产商）长期授权销售（授权书中连续有效期不少于一年）其他授权销售方式	是
2	免费保修年限	5年及以上 4年 3年 2年	是
3	合同履约	该项目对应的付**实验室合同范本执行；下载地址：http://www.**.com:8089/attachment/template/SMS/htmb.zip	否