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****年03月18日 11:(略)
(略) | |
项目所在采购意向: | |
采购单位: | (略) |
采购项目名称: | (略) |
预算金额: | (略) |
采购品目: | (略) |
采购需求概况 : | 主要指标及配置: 1、平面行星转动部套:可装载直径尺寸不大于Ф(略)00,净重不大于800Kg的工件三件; a、行星盘数量3个,行星盘转动无卡滞; b、工转速度0~(略)rpm; c、行星盘承重≤800kg 2、电子束蒸发部套:双枪单电源两套,270°磁偏转;电子枪控制电源两套,功率(略) KW及相应的环形、多穴水冷坩埚; a、高压:-4kV~(略)kV; b、电子束流:0~(略)00mA; c、坩埚容量:穴埚单穴20cc,环埚(略)00cc。 3、石英晶体膜厚监控部套:(5探头); a、频率稳定度:膜厚仪通电15min后,测量探头频率稳定度≤±(略)Hz@6MHz; b、坩埚控制准确; c、膜层自动切换准确可靠。 4、离子源辅助部套:配国产离子源两套; a、离子能量:0~****eV。 b、离子束流:0~(略)00mA。 c、电子束流:0~****mA。 5、充气系统:对相应电子束蒸发源进行充工艺气体; 6、冷却水系统:对电子束蒸发源、石英晶控探头、离子源等的水流保护装置; 7、电气控制:对电子束蒸发源、石英晶体膜厚控制系统、离子源系统、充气系统、行星工件转动系统等的监测和控制,满足多层膜的沉积工艺需求。 a、控制方式:手动/自动; b、能够依据设计膜系,自动完成膜系镀制; c、对上述四个主要系统进行测量和控制。 厂家报价及选型:厂家最低报价为人民币424万元。 主要部件清单: 序号 名称 数量 厂家 1 电子束蒸发 2 南京涉谷 2 膜厚控制 5 膜林科技 3 离子源 2 北京 4 行星工转 1 定制 5 控制系统 1 定制 现有同类型仪器设备使用管理情况: 目前国家天文台兴隆基地并没有可以镀多层多种膜系的设备,对于设备的使用与管理可以参考早期直径2.8米钟罩式真空镀膜机的使用管理情况进行,这台自****年安装至今已使用了50多年的镀膜机,由兴隆基地技术组负责运行维护。多年来利用该设备完成了兴隆基地2.16米反光、1.26米红外、60/90厘米施密特等多台望远镜每年的常规镀膜工作。目前新的3.2米钟罩式真空镀膜机(一期),只能够进行单层软膜的镀制,也由基地技术组负责使用与运维,目前工作状态良好。 |
预计采购时间: | (略) |
备注: |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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