位置>千里马招标网> 招标中心> 哈尔滨工业大学(深圳)ALD原子层沉积系统意向公开
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采购单位: | (略) |
项目名称: | (略) |
预算金额(元): | (略) |
采购品目: | (略) |
采购需求概况: | 1.适用于8英寸以及小尺寸样品薄膜沉积; 2. 反应腔材质为(略),底座整块材料加工,腔体表面抛(略) 3.设备本底真空优于3 Pa,设备漏率≤ 5×10-10Pa﹒m3/s; 4.多种沉积模式:(略) 5.常温源1路,加热源3路;每路源配备三孔ALD阀门(响应时间<5 ms); 6. 臭氧发生器产量不低于20 g/h,浓度不低于100 g/m3; 7. 臭氧发生器采用风冷方式无需配备冷却水,尺寸不(略) mm; 8.配备进口压力传感器,检测范围:(略) 9. 真空泵前级配置热阱,温度范围RT-300 ℃,控制精度±1℃; 10. 力学载台压力不低于10KN,加热最高温度400℃ |
联系人: | (略) |
联系电话: | (略) |
预计采购时间: | (略) |
备注: | 无 |
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