位置>千里马招标网> 招标中心> 多靶磁控溅射镀膜设备(XHGD-CG-2024118)采购公告
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多靶磁控溅射镀膜设备 | 项目编号XHGD-CG-(略) | |
****-03-25 19:13:32 | 公告截止日期****-03-27 21:00:00 | |
西湖(略) | 付款方式合同签订预付50%,验收合格后付50% | |
联系电话 | ||
到货时间要求 | 签约(略) | |
¥(略).00 | ||
杭州市富阳区富春湾新城西湖大学光电研究院 | ||
符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
多靶磁控溅射镀膜设备 | 1 | 台 |
¥ (略).00 |
1. 真空腔室:净空间尺寸不大于Φ550×H500mm,要求前开门,前门需配备观察窗,观察窗玻璃尺寸不小于Φ95mm;配至少一套方便拆卸的防污隔板;腔室、法兰、管道、防污隔板等均采用304无磁不锈钢材质; 2. 真空系统:主泵分子泵抽速不小于****m3/h,双级旋片泵抽速不小于30m3/h,全量程数显复合真空计量程:1×105~1×10-5Pa; 3. ▲真空极限:优于2.3×10-7Torr; 4. ★抽速:抽至3.7×10-6 Torr≤20min; 5. ▲基片台:根据客户要求定制的基片台,最大可处理基片不小于4英寸,基片台配一体式全尺寸挡板,挡板开合需要磁流体密封;基片台需要设计旋转:旋转速度0-25转/分连续可调,基片台旋转需要磁流体密封;基片台加热:PID智能温控表,控温范围室温~600℃; 6. ★阴极靶:不少于3只2英寸圆形平面靶,需采用原装进口品牌,靶头内部需采用全金属密封,不得采用胶圈密封,以满足超高真空应用。靶材安装(略),暗区屏蔽装(略),减少对辉光区域的束缚,并降低靶材之外材料被同时溅射出来的几率。靶头可调整角度不小于±45°,可单靶轮流/多靶聚焦共溅射; 7. 溅射电源:直流电(略),要求可切换恒压,恒流,恒功率控制模式,电源功率可以预先设置;射频电源1台,要求自动匹配; 8. 靶挡板:靶上有气动水平打开式挡板,角度与(略),要求磁流体密封; 9. 气路系统:不少于三路工艺气体MFC 控制,量程范围需满足工艺制备金属、金属氧化物的需要;要求氩气准确度不低于±0.8sccm;其他工艺气体准确度不低于±0.5sccm; 10. 操控系统:PLC+触摸屏手自一体操控系统,触摸屏不小于15英寸,真空系统的控制分为手动和自动二种模式,自动模式下,根据腔(略),阀的启闭;可远程监控,软件使用期限:永久有效; 11. 其它:冷却循环水机1台,制冷量不小于1P;镀膜设备及外围设备(冷水机等)总占地面(略) |
服务网点:当地;电话支持:7x24小时;服务年限:三年;服务时限:报修后2小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期:两年; |
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