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(略) | 1.0/台 | (略) | MYCRO | PDC-32G-2 | 1、主机系统: 1.1紧凑的台式设备、可调节的RF 功率、符合CE 安全标准 1.2 清洗舱:长6.5 (165mm)英寸,直径3 (76mm)英寸; 1.3常用工作气体:空气、氧气、氩气、氮气或混合气体等 1.4 1/8 英寸标准锥管螺纹针型阀控制气流和腔体压力 1.5 1/8 英寸标准锥管螺纹三通阀便于气体混合,隔离舱体和排气的快速切换 1.6 射频频率:13.56MHz 1.7 功率为低、中、高档可调,射频线圈,产生的等离子功率对应表: 低档功率范围:电压680V DC 电流10 mA DC 工作功率 6.8W 中档功率范围:电压700V DC 电流15 mA DC 工作功率 10.5W 高档功率范围:电压720V DC 电流25 mA DC 工作功率 18W 1.8档位功率设置:输入功率100W 2、真空系统: 2.1 VRD-4型真空泵,抽气速率:4 m3/h,配备油雾分离器 2.2 附带软管、软管箍、进气道适配器,定心环和摆动钳等连接套件 | 质保1年,2h响应,24h工程师上门,如果未能解决问题,供方工程师应在2个工作日内与用方达成故障解决方案。 |
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