位置>千里马招标网> 招标中心> 晶圆形貌仪采购项目(XHGD-CG-2024174)采购公告
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晶圆形貌仪采购项目 | 项目编号XHGD-CG-(略) | |
(略)6:22:30 | 公告(略)2024-05-14 18:00:00 | |
西湖大学光电研究院 | 付款方式预付30%,验收合格且拿(略) | |
联系电话 | ||
到货时间要求 | 签约后60个自然日 | |
¥(略).00 | ||
杭州市西湖区石龙山街18号西湖大学云栖校区 | ||
符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
晶圆形貌仪 | 1 | 台 |
¥ (略).00 |
1.光谱共聚焦系统:适用于切割片,研磨片,抛光片等不同阶段。 2. 自动运动平台:支持6/8寸晶圆,自带标定片模块。 3. 计算机系统:含检测软件系统;含数据库管理系统;支持PDF报告和Excel报告导出;支持批次刻字号excel批量导入功能;带通讯网络端口进行数据上传;支持SECS/GEM协议。 4. 检测内容:厚度,BOW,TTV,WARP,LTV。 5. 检测速度:≥ 30片/小时。 6. 检测重复性: 厚度测量重复性:+/-0.1um; BOW测量重复性:+/-0.3um; TTV测量重复性:+/-0.5um; Warp测量重复性:+/-0.5um; LTV测量重复性:+/-0.2um。 7.相关性(对标FRT): THICKNESS>99%; WARP >95%; BOW>95%; TTV>90%; LTV>90%。 |
质保期:(略) |
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