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(略) | |
项目所在采购意向: | |
采购单位: | (略) |
采购(略): | (略) |
预算金额: | (略) |
采购品目: | (略) |
采购需求概况 : | (略),1台,用于纳米至微米级的薄膜表面上指定区域深度的可控刻蚀,能够在薄膜表面形成纳微米级图案,并提供器件的工艺可靠性和稳定性分析。刻蚀功率:RF > 600 W,ICP > 2 kW,且连续可调;刻蚀速率: gt;10 nm/min,且连续可调;均匀性:8英寸范围内±5%;真空腔室整体漏率优于1 mTorr/min。具体要求详见采购文件。供货期:签订合同之日起,8个月货到指定地点并安装验收完毕。(包括供货、安装、调试、验收合格所需时间)。具体事宜由成交供货商按照采购人指定地点及时间安排要求执行。 |
预计采购时间: | (略) |
备注: |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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