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分区域钝化研究平台 | |
项目所在采购意向: | |
采购单位: | **** |
采购项目名称: | 分区域钝化研究平台 |
预算金额: | 400.000000万元(人民币) |
采购品目: | A****9900其他仪器仪表 |
采购需求概况 : | 平台应至少包括以下腔室:氧化硅磁控溅射腔室、硫化锌磁控溅射腔室、离子束刻蚀腔室和样品交换腔室。其中,样品交换腔室位于平台中央位置,其余腔室呈环形排布,利用中央真空机械手在各腔室之间进行样品转移;平台需设计过渡接口,能够与设备前端模块(EFEM)进行互联以进行样品转移和交接。样品尺寸基于直径6英寸。样品的全部工艺均应保证样片温度不高于45摄氏度。所有腔室样品台的制冷与泵、靶台的制冷分开;样片传输平稳,可靠,不得有掉片、卡片、倾覆、磕碰等情况。工艺过程及样品传输过程自动运行,无需人工干预。平台各工艺腔室配置独立的PLC、工控机、控制软件。各工艺腔室既可作为芯片自动化制造系统的一部分进行自动运行,也可以作为单独工艺点独立使用。 |
预计采购时间: | 2024-06 |
备注: |
本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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