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(略) | **晶萃光学 | (略) | 按行业标准提供服务 | 电机类型:直线电机,有效行程:100 mm,定位精度,± 2.5 μm,俯仰:±75 μrad,偏摆:±75 μrad,直线度:± 2 μm,平面度:± 2 μm,最小位移增量:100 nm,最大速度:500 mm/s,重量:3.5 kg,位移台材质:铝合金发黑,平均无故障时间:20000 h,最大加速度:15 m/s2(No Load),最大持续力:19 N,最大中心负载能力:100 N,传感器类型:绝对传感器,重复定位精度:± 0.2 μm,设计分辨率:50 nm,台面安装孔规格:M4和M6 | 2.0台 | DOLL-100H | (略)0 | **晶萃光学科技有限公司 |