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磁控溅射系统（JLU-KC24026）采购公告

公告-招标公告

吉林 -长春

发布时间： 2024年04月11日

摘要信息

招标单位

招标编号

招标估价

招标联系人

招标代理机构

代理联系人

报名截止时间

投标截止时间

关键信息

磁控溅射

招标详情

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项目名称项目编号公告开始日期公告截止日期采购单位付款方式联系人联系电话签约时间要求到货时间要求预算总价发票要求含税要求送货要求安装要求收货地址供应商资质要求公告说明

磁控溅射系统	****
2024-04-11 14:24:38	2024-04-16 15:00:00
****	货到验收合格办理相关手续后100%付款。

	国内合同签订后90个工作日内
￥950000.00




****
符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购清单1

采购商品采购数量计量单位所属分类

磁控溅射系统

台

电子工业生产设备

品牌型号预算单价技术参数及配置要求参考链接售后服务

**方昇

FS450-Y4

￥ 950000.00

1、样品台 1.1、样品架夹具可以固定 1 个 3 英寸或更大尺寸有效蒸镀面积的基片托。 1.2、基片盘可旋转，采用伺服电机驱动，旋转速度 0-30 转/分可调； 1.3、样片旋转要求采用磁流体密封，保证密封可靠性； 1.4、基片盘下方挡板采用磁流体密封，可在真空状态下打开关闭，用作预溅射或遮挡靶表面氧化层或杂质用。 1.5、基片架带升降功能,升降通过电机带动滚珠丝杆实现,焊接波纹管密封,升降行程≥50mm。 2、溅射靶 2.1、共 4 组共焦靶，靶尺寸：2 英寸；靶材厚度 3-5mm，靶的正上方装有防污板； 2.2、溅射靶采用水冷,以防止溅射过程中温度过高导致磁铁消磁； 2.3、溅射靶安装在真空腔体底部，共焦于基片盘，对基片盘共焦溅射； 2.4、溅射靶的溅射角度可调，10-30 度； 2.5、溅射均匀性：优于±5%； 2.6、溅射电源：DC 电源 2 台，500W；AC 电源 2 台，600W。 3、气路控制系统 3.1、三路进气，一路氩气，二路氮气，三路备用，前端带有截止阀，辅助控制； 3.2、采用Aera 质量流量控制器控制气体流量，量程 0-100SCCM，氮气标定； 3.3、主抽气管道上带有节流挡板，配合插板阀辅助调节溅射压力。 4、蒸发腔体 4.1、腔体采用 SUS304 不锈钢制作，其内部尺寸约为450×450×530mm； 4.2、腔体漏率：整体漏率优于 5×10-10Pa.m3/S，保压 12 小时，压强小于 10Pa。 5、蒸镀真空系统 5.1、极限真空优于： 4×10-5pa； 5.2、主泵抽速不低于 730L/S，采用分子泵； 5.3、前级泵抽速不低于 30 m3/h； 5.4、气动高真空插板阀，通径大于等于 150mm； 5.5、带有旁抽式结构，可不停主泵开启真空室。相关的阀门操作具体互锁保护功能，防止误操作； 5.6、腔体充氮气，从常压抽至 5×10-4pa 的时间要求不超过 15 分钟。 6、蒸镀软件控制系统 6.1、主体采用工控机,相关阀门软件控制,减小误操作的可能性； 6.2、电器控制面板与腔体,真空系统等集成在一个型材框架内,易于维护； 6.3、分子泵电源含有过流,过压,过热等报警保护。 7.提供生产厂家盖章针对本项目的售后服务承诺书和授权书。

服务网点:外地;电话支持:7x24小时;服务年限:一年;服务时限:报修后24小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期:一年;1、卖方须在交货日期2周内到买方提供的现场免费安装、调试设备并验收，直至技术指标与标书符合，安装、校准与试运行时，应对仪器设备的质量、规格、性能、数量进行详细和全面的检查。 2 、免费提供现场培训，人数不限，主要包括仪器的基本原理、操作应用及仪器的维护保养知识，直到用户能正常使用和维护仪器。 3 、厂家提供仪器一年的免费保修期，在保修期内，所有服务及配件全部免费，供货厂商在接到用户要求对所购仪器设备进行维修时，应在24小时之内给予答复，并派出维修人员在三日内到达用户现场进行维修服务。;