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| 电子束发生器 | 定制 | 138000.00 | 按行业标准提供服务 | 1) e型电子枪一支,枪功率不小于10Kw; 2) 电子枪高压稳定性:±2%;束流稳定性:±2%;抑弧反应时间<10ms;磁场电源X偏转电流±2A可调,扫描频率20~250Hz;Y偏转电流±2A可调,扫描频率50~250Hz; 3) 配6穴直冷式坩埚,坩埚配有电动防污挡板,具有高压灭弧自动复位功能;手操器带坩埚显示,方便操作人员观察; 4) 薄膜沉积控制:设定沉积速率,晶控可控制束流输出;速率显示精度优于±0.01A/s; 5) 水冷:需要为电子束发生器提供水冷,配水流监控; 6) 安装调试和培训:要求供应商在客户现场测绘、****实验室现有真空腔体对接并氦质谱捡漏,安装调试及培训,报价需包含该部分费用。 | 1.0台 | 定制 | 138000.00 | **** |