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高真空离子溅射\蒸发镀膜系统 (XJD2024041500002) 采购公告
招标详情
相关单位：
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高真空离子溅射\蒸发镀膜系统 (XJD（略）) 采购公告
发布时间：（略）
| 高真空离子（略） | 项目编号XJD（略） | |
| （略） | 公告截止日期（略）2:00:00 | |
| 西安交通大学 | 付款方式货到安装、调（略），付全款。 | |
| 发布竞价结果后7天内签订合同 | 到货（略）合同签订后90天内送达 | |
| 币种 | 人民币 | |
| 陕西省西安市长安区**** | ||
| 无 | ||
采购清单 1
| 高真空离子溅射（略） | 1.00 | 无 |
| Safematic镀膜仪、深圳市速普仪器有限公、北京中科创仪科技有限公司 |
| CC（略） HV、ISC150T（定制）、SC6000T-DZ（定制） |
| 一、仪技术参数要求： 1、系统具有磁控离子溅射和热蒸发镀碳两种镀膜方式，可镀制纳米级厚度的金属导电膜和碳导电膜，用 于常规 SEM、 EDS、 EDX、 WDS 等样品镀导电膜，也可用于场发射 SEM、 TEM 碳支持膜等高分辨镀膜； 2、系统为全自动触摸屏操控的镀膜系统，可编程控制镀膜过程，全自动操作； 3、样品台：标配平面样品台， 直径不小于 60mm、高度可调范围≥30-90mm、可 0-45°倾斜； 4、镀膜腔室：硼硅酸盐玻璃圆筒型腔室2个，腔室内径不小于100mm，带有标尺指示工作距离，外部 带有防爆罩，并配备真空安全互锁装置；可整体拆卸，以便实现无死角地清洁； 另配 6 英寸金属腔室 1 个； 5、真空系统：内置隔膜泵和涡轮分子泵的无油抽真空系统，极限真空度为 10-6mbar量级，配皮拉尼和 冷阴极全范围复合真空规； 6、膜厚监测：具有石英晶体膜厚监控装置，标配平面样品台具有双位置设计，晶体探头可插入到样品的 中心或边缘位置，显示分辨率＜1nm； 另配10片晶振片； 7、溅射镀膜系统：溅射镀膜：采用先进磁控离子溅射技术，实现温和溅射；具有靶材主动冷却和靶材 温度监测设计。溅射电压最高-900VDC，溅射电流 10-100mA 可调； 8、溅射靶材：采用 φ54mm 靶材，能适用于各种靶材的溅射（包括但不限于 Au, Pt, ITO,DLC,Ni, Fe, C 等靶材），配有金靶一块； 9、热蒸发镀碳：蒸发电压为24VDC，蒸发电流可调范围10-20A。碳源采用盘卷式设计，自动碳绳供 给和收集已用碳绳，节省人工装夹碳绳操作，一次真空下可进行多达 50 次镀碳运行。与FTM配合使用， 可精准控制碳膜厚度，碳膜质量好、可重复性高。可镀制1nm或以下的极薄碳膜，也可在一次真空下镀 制100nm或以上的厚碳膜； 配有盘卷碳绳4个； 10、镀膜终止：采用 FTM 设置膜厚或设置时间两种镀膜终止方式； 二、产品配置要求： 1、镀膜系统1台，包括：全自动主机（内含涡轮分子泵和隔膜泵）、标配样品台、高纯碳绳、金靶 2、技术文件： 随仪器附说明书一份 三、技术服务： 1、设备安装调试：卖方应在发货前2周内向用户提供详细的安装要求并提供技术咨询；仪器到达用户所 在地，在接到用户通知后3个工作日内或双方协商的时间内进行安装调试，直至通过验收仪器。 2、技术培训：在用户所在地对用户进行2人以上的免费培训。培训内容包括仪器的技术原理、操作、基本维 护等。 3、保修期：验收合格后12个月。 4、维修响应时间：卖方应在12小时内对用户的服务要求作出响应，一般问题应在 3 个工作日内到达维 修现场并予以解决，重大问题或其它无法迅速解决的问题应在两周内解决或提出明确解决方案。 |
| 1.为保障质量（略），参与竞价（略），确保不是翻新组装贴牌、库存旧货资料证明，否则（略）。 2.产品到货后需要有专业技术人员进行现场调试指导；承诺提供为期至少1年的免费保修及维护服务，质保期内，使用方（略），保修期后，需根据我方要求于一周内进行设备维修； 3.提供培训电子资料及视频；提供设备使用说明，培训2人及以上掌握设备的操作与普通故障的排查。 |
招标进度跟踪
2024-04-15
招标公告
高真空离子溅射\蒸发镀膜系统 (XJD2024041500002) 采购公告
当前信息
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