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高性能旋涂系统
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招标详情
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400-688-2000
| 申购单主题： |
高性能旋涂系统 |
申购单位： |
****学院 |
报价类型： |
国内含税价 |
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| 使用币种： |
人民币 |
公示时间： |
2024-04-17 09:59:27 |
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| 申购备注： |
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| 商品名称 |
品牌厂商 |
型号 |
数量 |
售后服务 |
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| 高性能旋涂系统 |
****研究所 |
KW-4T |
1 |
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| 规格 |
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| 转速：250-9000 RPM 转速稳定性：1RPM 旋涂均匀性：（一致性） ＜1%（片内）；＜1%（片间） 基片尺寸：Φ5-Φ100mm 圆片，最大 100mm×100mm 方片 显示/程序控制：全触摸屏操作，快速启动，人性化界面。6 步工艺调速设计，0-1800s 时间可调，专业用户最适合的的需求 整机尺寸：（mm3） 280×220×160 工艺支持：依托中科院微电子所工艺平台，提供全方位微纳加工工艺支持 适应材料/工艺支持 ：适合硅片、玻璃、石英、金属、GaAs，GaN，InP 等各种材料，工艺服务 特殊夹具定制：20 年特殊夹具设计经验，完美匹配超薄、异形、脆性易碎样品 电机功率：40W 抽气速率：＞60L/min 质量保证：中科院微电子所独家设计制造，通过 ISO9000 质量体系认证 |
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