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高真空离子溅射\蒸发镀膜系统 (XJD2024041800003) 采购公告

公告-招标公告

陕西 -西安

发布时间： 2024年04月18日

摘要信息

招标单位

招标编号

招标估价

招标联系人

招标代理机构

代理联系人

报名截止时间

投标截止时间

关键信息

溅射蒸发镀膜

招标详情

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相关单位：

***********公司企业信息

高真空离子溅射\蒸发镀膜系统 (****) 采购公告

发布时间：2024-04-18 14:58:26

项目名称项目编号公告开始日期公告截止日期采购单位付款方式签约时间要求到货时间要求预算总价币种收货地址供应商资质要求

高真空离子溅射\蒸发镀膜系统	****
2024-04-18 14:58:26	2024-04-22 12:00:00
****	100%信用证，见开箱记录后解付90%货款，剩余货款验收合格后解付。
发布竞价结果后7天内签订合同	合同签订后90天内送达
	美元
省市区**
无

采购清单 1

采购商品采购数量计量单位附件

高真空离子溅射\蒸发镀膜系统

1.00

批

无

品牌型号预算单价规格参数售后服务

Safematic镀膜仪、英国 Cresssington、德国徕卡

CCU-010 HV、Cresssington208 HR和Cresssington208C、Leica EM ACE600

1、系统具有磁控离子溅射和热蒸发镀碳两种镀膜方式，可镀制纳米级厚度的金属导电膜和碳导电膜，用于常规 SEM、 EDS、 EDX、 WDS 等样品镀导电膜，也可用于场发射 SEM、 TEM 碳支持膜等高分辨镀膜。 2、系统为全自动触摸屏操控的镀膜系统，可编程控制镀膜过程，全自动操作。 3、样品台：标配平面样品台，直径不小于60mm、高度可调范围≥30-90mm、可0-45°倾斜。 4、镀膜腔室：硼硅酸盐玻璃圆筒型腔室2个，腔室内径不小于100mm，带有标尺指示工作距离，外部带有防爆罩，并配备真空安全互锁装置；可整体拆卸，以便实现无死角地清洁；另配6英寸金属腔室1个。 5、真空系统：内置隔膜泵和涡轮分子泵的无油抽真空系统，极限真空度为 10-6mbar量级，配皮拉尼和冷阴极全范围复合真空规。 6、膜厚监测：具有石英晶体膜厚监控装置，标配平面样品台具有双位置设计，晶体探****中心或边缘位置，显示分辨率＜1nm；另配10片晶振片。 7、溅射镀膜系统：溅射镀膜：采用先进磁控离子溅射技术，实现温和溅射；具有靶材主动冷却和靶材温度监测设计。溅射电压最高-900VDC，溅射电流10-100mA可调。 8、溅射靶材：采用 φ54mm 靶材，能适用于各种靶材的溅射（包括但不限于 Au,Pt,ITO,DLC,Ni,Fe,C等靶材），并配有金靶一块。 9、热蒸发镀碳：碳源采用盘卷式设计，自动碳绳供给和收集已用碳绳，节省人工装夹碳绳操作，一次真空下可进行50次以上镀碳运行；可精准控制碳膜厚度，碳膜质量好、可重复性高，可镀制1nm或以下的极薄碳膜，也可在一次真空下镀制100nm或以上的厚碳膜；配盘卷碳绳4个。 10、镀膜终止：采用FTM设置膜厚或设置时间两种镀膜终止方式。

1.为保障质量及性能指标运行稳定，参与****制造厂商分销授权书及售后服务承诺书，确保不是翻新组装贴牌、库存旧货资料证明，否则竞价无效。 2.产品到货后需要有专业技术人员进行现场调试指导；承诺提供为期至少1年的免费保修及维护服务，质保期内，使用方需要的易损件及备品免费提供，保修期后，需根据我方要求于一周内进行设备维修； 3.提供培训电子资料及视频；提供设备使用说明，培训2人及以上掌握设备的操作与普通故障的排查。