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无掩模光刻机（JLU-KC24030）采购公告

公告-招标公告

吉林 -长春

发布时间： 2024年04月19日

标书代写官方

摘要信息

招标单位

招标编号

招标估价

招标联系人

招标代理机构

代理联系人

报名截止时间

投标截止时间

关键信息

掩模

招标详情

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项目名称项目编号公告开始日期公告截止日期采购单位付款方式联系人联系电话签约时间要求到货时间要求预算总价发票要求含税要求送货要求安装要求收货地址供应商资质要求公告说明

无掩模光刻机	****
2024-04-19 16:27:50	2024-04-24 17:00:00
****	货到验收合格办理相关手续后100%付款。

	国内合同签订后90个工作日内
￥850000.00




****
符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购清单1

采购商品采购数量计量单位所属分类

无掩模光刻机

台

电子工业生产设备

品牌型号预算单价技术参数及配置要求参考链接售后服务

赫智科技

TTT-07- UV Litho- ACA

￥ 850000.00

1. 光刻精度：至少支持两个光刻镜头：光刻镜头 1：最小线宽≤1.2 μm，工作距离≥18 mm；光刻镜头 2：最小线宽≤0.8 μm，工作距离≥12 mm 2. 交互式套刻指引功能 3. 支持主动对焦 4. 支持光刻镜头电动切换 5. 曝光波长：405±5 nm 6. 数字掩模板分辨率：≥1920 ×1080，微镜尺寸≤7.6 um 7. 显微观测：支持显微观测且不会引起光刻胶变性 8. 光刻镜头电动切换时间：≤300 ms；重复定位精度：≤400 nm 9. 样品厚度：≥10 mm 10.样品尺寸：≥125 mm ×125 mm 11.支持样品电动旋转：电动样品旋转台，行程≥±20°，步进精度≤0.001° 12.样品吸附：支持样品吸附 13.设备软件：原位光绘功能；物像绑定功能；成像拼接功能；畸变矫正功能 14.画图软件：支持阵列画图、套刻画图 15.湿度控制：支持设备内部湿度控制 16.提供生产厂家盖章针对本项目的售后服务承诺书和授权书。

服务网点:外地;电话支持:7x24小时;服务年限:一年;服务时限:报修后24小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期:一年;1、卖方须在交货日期2周内到买方提供的现场免费安装、调试设备并验收，直至技术指标与标书符合，安装、校准与试运行时，应对仪器设备的质量、规格、性能、数量进行详细和全面的检查。 2 、免费提供现场培训，人数不限，主要包括仪器的基本原理、操作应用及仪器的维护保养知识，直到用户能正常使用和维护仪器。 3 、厂家提供仪器一年的免费保修期，在保修期内，所有服务及配件全部免费，供货厂商在接到用户要求对所购仪器设备进行维修时，应在24小时之内给予答复，并派出维修人员在三日内到达用户现场进行维修服务。;