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无掩膜紫外光刻机（A-WZBX0949）采购公告

公告-招标公告

福建 -厦门

发布时间： 2024年04月22日

标书代写官方

摘要信息

招标单位

招标编号

招标估价

招标联系人

招标代理机构

代理联系人

报名截止时间

投标截止时间

关键信息

紫外光

招标详情

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相关单位：

***********公司企业信息

项目名称项目编号公告开始日期公告截止日期采购单位付款方式联系人联系电话签约时间要求到货时间要求预算总价发票要求含税要求送货要求安装要求收货地址供应商资质要求公告说明

无掩膜紫外光刻机	****
2024-04-22 08:39:01	2024-04-25 10:00:00
****

	签约后30个工作日内
￥700000.00




物理楼114室
符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购清单1

采购商品采购数量计量单位所属分类

无掩膜紫外光刻机

台

品牌型号预算单价技术参数及配置要求参考链接售后服务

￥ 700000.00

1. ★光刻精度：至少支持两个光刻镜头：光刻镜头1：最小线宽≤1.2 μm，工作距离≥19 mm；光刻镜头2：最小线宽≤0.8 μm，工作距离≥12 mm 2. ★具备交互式套刻指引功能 3. ▲具备图像识别对焦功能 4. ★支持光刻镜头电动切换 5. 曝光波长：405 nm 6. ★数字掩模板分辨率：≥1920 1080，微镜尺寸≤7.6 um 7. 显微观测：支持显微观测且不会引起光刻胶变性 8. ▲样品厚度：≥8 mm 9. ▲样品尺寸：≥80 mm *80 mm 10. ★支持样品电动旋转 11. 样品吸附：支持样品吸附 12. ★设备软件：原位光绘功能物像绑定功能成像拼接功能畸变矫正功能 13. 画图软件：支持阵列画图、套刻画图

商品承诺:送货上门/安装调试/技术培训;1年免费质保期;