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高真空金属蒸发镀膜机（清采比选20240036号）成交结果公告

结果-中标通知

北京 -北京

发布时间： 2024年04月22日

摘要信息

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关键信息

金属蒸发镀膜机

招标详情

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相关单位：

***********公司企业信息

项目名称项目编号公告开始日期公告截止日期采购单位付款方式联系人联系电话签约时间要求到货时间要求预算总价发票要求含税要求送货要求安装要求收货地址供应商资质要求公告说明

高真空金属蒸发镀膜机	****
2024-04-18 16:49:30	2024-04-21 17:00:00
****	货到付款100%

	签订合同后30个工作日内
￥ 381000.00




市**
符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购清单index

采购商品采购数量计量单位所属分类

高真空金属蒸发镀膜机

台

品牌型号预算单价技术参数及配置要求参考链接售后服务

普迪真空

PD-300M

￥ 381000.00

一、真空腔室真空专用304不锈钢腔室，300×300×500mm；前开门结构。配内衬防污板，可旋转水冷；二、镀膜要求 *镀膜蒸发速率： Al:10~30/s，Cu :5~10/s，Au:5~10/s； Ag:5~15/s；Ni:5~10/s；Ti:1~5/s；Pt:1~5/s；根据实际工艺可自动调整。 *镀膜速率控制要求：自动控制最小0.1A，手动控制0.02A（提供图片佐证） *镀膜方式：实现全自动镀膜。 *可镀膜材料：Au/Cu/Al/Ag/Ni/Ti/Pt/Cr/Nb/Ga/In/Ir/Fe等，以及不常用低熔点金属等，氟化镁，氧化锰，C60，BCP,AlQ3等等低熔点化合物小分子材料等。 *镀膜厚度均匀性：2英寸工件/4英寸工件，保证片内均匀性优于+/-4%，片间均匀性优于+/-4%； *镀膜厚度重复性：优于+/-1%； *附着力：符合ISO及国标军标要求。三、膜厚仪进口 INFICON品牌，型号: SQC-310，配备 1 只水冷探头；显示控制精度0.01 埃；四、真空系统不小于1100L/S泵组高真空抽气系统；五、基片台尺寸最大可镀基片尺寸/面积：Φ100mm范围内可装卡各种规格配套相应样品架可固定各类不锈钢掩膜板。基片台旋转：0-20转/分钟，可调可控。基片台可水冷。六、蒸发源及电源热蒸发系统配2组蒸发源（可使用丝状源与舟状源）；配备水冷蒸发电极,不小于1.44KW金属蒸发电源。七、控制方式西门子PLC+西门子触摸屏全自动控制；所有阀门采用电动控制。八、报警及保护对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施；完善的逻辑程序互锁保护系统。九、设备配电电压：AC220V/50HZ 功率：4.5KW 十、设备震动 *设备震动A级，符合ISO标准，噪音指数65分贝以下十一、设备尺寸 ****实验室实验空间。 1.主机外形尺寸：W550×D950×H1850mm 仪器重量：118kg 2.泵: 外形尺寸：W200×D500×H260mm 仪器重量：36kg 3.水冷机外形尺寸：W230×D280×H380mm 仪器重量：16kg 十二、腔体洁净度要求 *需提供高真空状态腔体气体分析报告。

12个月

成交信息

成交供应商：

****

招标进度跟踪

2024-04-22

中标通知

高真空金属蒸发镀膜机（清采比选20240036号）成交结果公告

当前信息

2024-04-18

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高真空金属蒸发镀膜机（清采比选20240036号）采购公告

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