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| 原子层沉积系统 | |
| 项目所在采购意向: | ****2024年6月政府采购意向 |
| 采购单位: | **** |
| 采购项目名称: | 原子层沉积系统 |
| 预算金额: | 200.000000万元(人民币) |
| 采购品目: |
A****0300电子工业生产设备
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| 采购需求概况 : |
专门应用于科学研究领域的单原子层沉积系统,在90℃低温条件下生长高质量氧化铪,生长薄膜均匀性高,缺陷数量少,可重复性高。低温生长栅介质对于微纳米平台制作晶体管器件和其他纳米器件具有很大的推动作用,尤其生长介质的稳定性和可重复性可以满足微纳米平台众多课题组的科研需求。
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| 预计采购时间: | 2024-06 |
| 备注: | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写