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1 | 微结构高频特性测试仪 | 拟购置的微结构高频特性测试仪需要提供精度达到飞米级别的非接触式面外激光测量,且测量频率范围需优于20MHz;需提供优于5μm的光斑直径和不低于0.02 (μm/s)/√Hz速度分辨率以及10 pm/√Hz的位移分辨率。要求仪器稳定性高,抗噪声能力强以及易操作,并需提供完备的配套售后服务。 | (略).00 | (略) |