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MOCVD烤盘炉（WLU-HW-KS-NM-2024-0476）采购公告

公告-招标公告

浙江 -杭州

发布时间： 2024年04月29日

摘要信息

招标单位

招标编号

招标估价

招标联系人

招标代理机构

代理联系人

报名截止时间

投标截止时间

关键信息

烤盘

招标详情

下文中****为隐藏内容，仅对千里马会员开放，如需查看完整内容请或拨打咨询热线： 400-688-2000

相关单位：

***********公司企业信息

项目名称项目编号公告开始日期公告截止日期采购单位付款方式联系人联系电话签约时间要求到货时间要求预算总价发票要求含税要求送货要求安装要求收货地址供应商资质要求公告说明

MOCVD烤盘炉	****
2024-04-29 14:00:20	2024-05-07 15:00:00
****	内贸部分：货到验收合格后付全款

	内贸部分：2024年08月
￥490000.00




云谷校区
符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购清单1

采购商品采购数量计量单位所属分类

MOCVD烤盘炉

台

品牌型号预算单价技术参数及配置要求参考链接售后服务

￥ 490000.00

1.设备安装空间应小于3m×3m×2.5m； 2.设备整体包括如下几个模块与子系统： 1）电气控制系统为PLC控制； 2）含冷却水系统； 3）进气系统和气体分配系统耐腐蚀； 4）预留接入尾气系统接口； 5）中高温加热器系统(400~1000℃); 6）气体侦测系统：可配置有害气体环境监控系统； 3.可通氯气 4.性能 1）分区加热；采用缠绕钨丝的方式； 2）适用直径规格：≥280mm的石墨托盘； 3）工作温度区间：400 ～1000℃; 4）工艺气体：N2和Cl2; 5）采用具有热稳定性的材料载片；

质保期:1年;商品承诺:质保期后，只收取零配件费，不收取人工费;