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[BA202400364]紫外光刻机采购项目备案成交公告
摘要信息
中标单位
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中标金额
265000.00
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招标单位
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招标编号
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招标估价
265000.00
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关键信息
招标详情
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***********公司企业信息
[****]紫外光刻机采购项目备案成交公告
发布时间：2024-04-30 10:45:22
采购信息
| **** | 项目名称紫外光刻机采购项目 | |
| ****学院 | 经办人董鑫 | |
| 265000.00 人民币 | 成交金额265000.00 人民币 | |
| **** | 质保期12 月 | |
| **省-**市-**市**区同善桥横街10号附4号 | 采购单位 | **** |
| 货到验收合格办理相关手续后100%付款。 | ||
| 135****5104 | 交货时间成交单签订后30天内交货 | |
| **省-**市-**大街2699号，**大学南校区唐敖庆楼D240室 | ||
| 乙方免费将产品送达甲方用户单位指定地点。 | ||
| 由乙方免费提供及承担 | ||
| 以成交单为准，参考相关内容进行验收。验收程序以甲方职能部门规定为准。 | ||
| （1）紫外光刻机产品为全新。生完成后包装运输至用户指定地点，并派出专业工程师负责免费上门安装与调试，将设备恢复到原有技术状态； （2）提供产品出厂检验方法及报告、检验合格证，使用操作与维护说明书， 配合用户现场验收。验收标准按合同验收条款执行； （3）设备现场安装调试完成后，负责免费为客户操作人员提供产品操作技能与维护相关知识的专业培训， 培训时间及人员据用户需求确定； （4）对提供产品实行壹年质保期和永久的跟踪维护服务； （5）设备技术响应时间在 2小时内，现场技术支持响应间在24小时内， 72 小时内排除设备故障； （6）如产品在质保期内出现任何非人为的质量问题，应免费维修、更换。 （7）质保期满后负责长期按成本价提供所需配件，以保证设备的后期使用，发现问题需要及时处理排除，并免收维护工程人员劳务费用。 | ||
| 自主采购评审报告.jpg | ||
明细清单
| 电子工业生产设备 | 品牌名称IOE | |
| 紫外光刻机 | 产地及生产商中国-****学院****研究所 | |
| URE-2000/30AL | 数量1 | |
| 台 | 保修年限1 年 | |
| 265000.00 人民币 | 总价265000.00 人民币 | |
| 1、外形尺寸：约 1400mm（长）900mm(宽)1500mm（高）； 2、曝光面积：160mm×160mm； 3、曝光波长：365nm； 4、分辨力：≤1 μm； 5、对准精度：1 μm； 6、对准系统扫描台运动范围至少满足：Y:10mm； 7、对准系统左右光管可单独XYZ向运动，X向：±5mm ,Y向：±5mm, Z向：±5mm； 8、掩模尺寸：7 寸（向下兼容）； 9、样片尺寸：6 寸（向下兼容）； 10、适应样品厚度：0.5-3mm，最大可支持20mm的样片（定制）； 11、曝光方式：定时（倒计时方式）； 12、照明不均匀性：＜3 %； 13、双视场 CCD 对准显微镜：变倍镜头（1-5 倍）+显微物镜； 14、掩模相对于样片运动行程至少满足：X:5mm, Y:5mm, θ:±6°； 15、曝光能量密度：>35mW/cm2； 16、对准位和曝光位双工位工作，双工位伺服电机自动切换； 17、调平接触压力通过传感器保证重复性； 18、可数字设定对准间隙和曝光间隙； 19、触摸屏操作。 | ||
招标进度跟踪
2024-04-30
中标通知
[BA202400364]紫外光刻机采购项目备案成交公告
当前信息
2024-04-24
2024-04-22
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