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上海新进半导体制造有限公司离子注入机应用项目

审批

上海-上海-徐汇区

发布时间： 2024年04月30日

项目详情

建设项目环境影响登记表

填表日期：2024-04-30

项目名称	****离子注入机应用项目
建设地点	市直辖市区宜山路800号	建筑面积（平方米）	7000
建设单位	****	法定代表人	沈金龙
联系人	赵永健	联系电话	135****5652
项目投资(万元)	2551	环保投资(万元)	15
拟投入生产运营日期	2024-05-09
建设性质	**
备案依据	该项目属于《建设项目环境影响评价分类管理名录》中应当填报环境影响登记表的建设项目，属于第172 核技术利用建设项目项中销售Ⅰ类、Ⅱ类、Ⅲ类、Ⅳ类、Ⅴ类放射源的；使用Ⅳ类、Ⅴ类放射源的；医疗机构使用植入治疗用放射性粒子源的；销售非密封放射性物质的；销售Ⅱ类射线装置的；生产、销售、使用Ⅲ类射线装置的。
建设内容及规模	一、建设内容：芯片制造生产线使用离子注入机进行工艺二、建设规模：该项目为共有11台离子注入机，分别布置在洁净厂房的一楼和三楼，其中，一楼布置了8台，三楼布置了3台。三楼的3台注入机，型号分别为 NV6200A-6（管电压160KeV，管电流5mA）NV10SD-4 （管电压160KeV，管电流0.5mA）和 NV10SD-1 （管电压160KeV，管电流0.5mA）；一楼的8台离子注入机，型号分别是NV6200A-5（管电压160KeV，管电流5mA），NV6200A-3（管电压160KeV，管电流0.5mA），NV6200A-2（管电压160KeV，管电流0.5mA），NV6200A-1（管电压160KeV，管电流5mA），NV10SD-3（管电压160KeV，管电流0.5mA），E500（管电压80KeV，管电流5mA），GSD-80 （管电压180KeV，管电流10mA）和 GSD-200E（管电压180KeV，管电流1.0mA）
主要环境影响		采取的环保措施及排放去向
主要环境影响		采取的环保措施及排放去向





辐射环境影响	环保措施: 一、污染防治措施 1、警示标识：公司离子注入机辐射工作场所设置电离辐射警示标志； 2. 离子注入机配备了铅板防护装置。公司设备待机状态时、人员近距离对合金板材试片测试时以及偶尔人工对合金板材进行片头处理时，须对射线装置进行关闭后才可实行运作；或者发现故障时，射线装置断电，再由专业的维修和检测人员进入检查。 3、防护用品和监测仪器：公司为 28名辐射工作人员配备个人剂量计，配备2台辐射监测报警仪。二、安全管理措施 1、有专职管理人员负责辐射安全管理 2、规章制度：操作规程、岗位职责、辐射防护和安全保卫制度、设备检修维护制度、人员培训计划、监测方案 3、个人剂量检定、个人剂量档案、职业健康体检、个人健康档案 4、28人参加辐射安全和防护知识培训
承诺：** 沈金龙承诺所填写各项内容真实、准确、完整，建设项目符合《建设项目环境影响登记表备案管理办法》的规定。如存在弄虚作假、隐瞒欺骗等情况及由此导致的一切后果由 **，沈金龙承担全部责任。
备案回执：该项目环境影响登记表已经完成备案，备案号：202********0000323。

温馨提示

1.该项目指提供国家及各省发改委、环保局、规划局、住建委等部门进行的项目审批信息及进展，属于前期项目。

2.根据该项目的描述，可依据自身条件进行选择和跟进，避免错过。

3.即使该项目已建设完毕或暂缓建设，也可继续跟踪，项目可能还有其他相关后续工程与服务。

400-688-2000

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