澄清或变更简要说明:变更招标文件
****受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于2024-04-30在中国国际招标网发布变更公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:品目1
设备名称:氧化清洗湿台
设备数量:1台
设备用途:本设备适用于八寸晶圆溅射前清洗、氧化清洗、键合工艺,采用H2SO4、H2O2、HF、氨水和盐酸溶液通过化学反应达到清洗晶圆表面的目的。
品目2
设备名称:标准清洗湿台
设备数量:2台
设备用途:本设备适用于八寸晶圆溅射前清洗、氧化清洗、键合工艺,采用H2SO4、H2O2、HF、氨水和盐酸溶液通过化学反应达到清洗晶圆表面的目的。
品目3
设备名称:硫酸去胶湿台
设备数量:1台
设备用途:本设备适用于八寸晶圆光刻胶去除清洗工艺,采用H2SO4、H2O2和NH4OH溶液通过化学反应达到光刻胶去除、清洗的作用。
品目4
设备名称:有机去胶湿台
设备数量:1台
设备用途:本设备适用于八寸晶圆聚合物去除工艺,采用EKC溶液和NMP溶液通过化学反应达到去除聚合物和光刻胶的目的。
品目5
设备名称:BOE湿台
设备数量:1台
设备用途:本设备适用于八寸晶圆二氧化硅腐蚀、氮化硅腐蚀工艺,采用HF、NH4F、H3PO4溶液通过化学反应达到腐蚀二氧化硅和氮化硅的目的。
资金到位或资金来源落实情况:已到位
项目已具备招标条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目编号:****
招标项目名称:8英寸MEMS晶圆生产线之氧化清洗湿台、标准清洗湿台、硫酸去胶湿台、有机去胶湿台、BOE湿台
项目实施地点:中国**省
招标产品列表(主要设备):
| 序号 |
产品名称 |
数量 |
简要技术规格 |
备注 |
| 1 |
氧化清洗湿台 |
1 |
气压控制:具有氮气、CDA、排风具备压力监控功能。其他参数详见第八章 |
无 |
| 2 |
标准清洗湿台 |
2 |
水气枪:配有进口PP水气枪。其他参数详见第八章 |
无 |
| 3 |
硫酸去胶湿台 |
1 |
测漏感知:设备底部配有防漏盘和漏液传感器检测漏液,防漏盘上的漏液能通过排放端口排走。其他参数详见第八章 |
无 |
| 4 |
有机去胶湿台 |
1 |
移门:有机玻璃移门,配有检测门开传感器,具有联动互锁功能。其他参数详见第八章 |
无 |
| 5 |
BOE湿台 |
1 |
定位方式:底部附万向转轮与活动式调整脚。其他参数详见第八章 |
无 |
3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:① 投标人如为境内企业,提供企****事业单位法人证书,如为境外企业提供企业注册登记证。
② ****制造厂****制造厂商,也可以是设备授权代理商,****制造厂商的有效授权书。
③ 投标人开户行开具的,出具日期在开标前三个月内的资信证明原件或该原件的复印件。
标书代写
④ 投标人需要具有履行合同所必需的设备技术支持和服务能力(提供承诺书,格式自理)。
⑤ 单位负责人授权书原件。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间:2024-04-29
招标文件领购结束时间:2024-05-09
是否在线售卖标书:否
获取招标文件方式:现场领购
招标文件领购地点:苏美达大厦8楼西侧(**市长江路198号)
招标文件售价:¥3000/$400
5、投标文件的递交
投标截止时间(开标时间):2024-05-22 10:00
标书代写
投标文件送达地点:苏美达大厦辅楼3楼开标室
标书代写
开标地点:苏美达大厦辅楼3楼开标室
标书代写
6、投标人在投标前应在必联网(
https://www.****.com)或机电产品招标投标电子交易平台(
https://www.****.com)完成注册及信息核验。评标结果将在必联网和中国国际招标网公示。
7、联系方式
招标人:****
地址:**省**市**大道888号
联系人:陈逊频
联系方式:139****0315
招标代理机构:****
地址:**长江路198号11楼
联系人:江岳峰/朱志云/周翠
联系方式:185****9296、025-****1057
8、汇款方式:
****银行(人民币):
****银行(美元):
账号(人民币):
账号(美元):