等离子增强化学气相沉积系统公开招标公告

一、项目基本情况

项目编号：****

项目名称：等离子增强化学气相沉积系统

预算金额：320.000000 万元（人民币）

采购需求：

碳基栅叠层项目是为推动碳基芯片的发展而设立，氧化硅和氮化硅薄膜是碳基器件测墙薄膜主要组成，等离子增强化学气相沉积是沉积氧化硅和氮化硅薄膜最主要的工艺，具有沉积速率快，沉积温度低的特点，其原理是在射频源驱动下，通过感应耦合ICP方式、在反应腔的上电极、下电极之间生成**度等离子体，通过气路系统进入反应腔的工艺气体分子被电离生成等离子体；等离子体中的自由基发生化学反应、生成氧化硅、氮化硅等介质，在衬底材料（例如硅、砷化镓等半导体材料）上沉积成固体薄膜，对推进碳基集成电路的研发非常重要。具体详见招标文件第四章采购需求。

合同履行期限：合同签订后240天交货并安装完毕

本项目( 不接受 )联合体投标。

二、申请人的资格要求：

1.满足《****政府采购法》第二十二条规定；

2.落实政府采购政策需满足的资格要求：

无

3.本项目的特定资格要求：(1)投标人必须为投标文件递交截止之日前未被列入“信用中国”网站（www.****.cn）、中国政府采购网（www.****.cn）信用记录失信被执行人、重大税收违法失信主体、政府采购严重违法失信行为记录名单的；(2)不同投标人的法人、单位负责人不是同一人也不存在直接控股、管理关系；(3)投标人必须向采购代理机构购买招标文件并登记备案，未向采购代理机构购买招标文件并登记备案的无资格参加本次投标；(4)本项目不接受联合体投标；(5)本项目接受进口产品；(6)本项目非专门面向中小企业标书代写

三、获取招标文件

时间：2024年05月07日 至 2024年05月13日，每天上午9:00至12:00，下午13:00至17:00。（**时间，法定节假日除外）

地点：****（**市**区**路9****广场6号楼1601室）

方式：现场获取，携带现金，招标文件售后不退。

售价：￥500.0 元，本公告包含的招标文件售价总和

四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点标书代写

提交投标文件截止时间：2024年05月28日 14点00分（**时间）标书代写

开标时间：2024年05月28日 14点00分（**时间）标书代写

地点：**市**区**路9****广场6号楼15层1518第一会议室

五、公告期限

自本公告发布之日起5个工作日。

六、其他补充事宜

1、****政府采购政策：节约能源、保护环境、扶持不发达地区和少数民族地区、促进中小微企业发展、支持监狱、戒毒企业发展、促进残疾人就业、****政府采购政策。

2、本项****政府采购网（http://www.****.cn/）上发布。

七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。

1.采购人信息

名 称：****

地址：**市**区颐和园路5号

联系方式：吴老师****8587

2.采购代理机构信息

名 称：****

地 址：**市**区**路9****广场6号楼1601室

联系方式：崔丽洁、赵娜、刘金秀、金珊010-****9799-8037/8079

3.项目联系方式

项目联系人：崔丽洁、赵娜、刘金秀、金珊

电 话： 010-****9799-8037/8079