原子层刻蚀系统公开招标公告

一、项目基本情况

项目编号：HCZB-2024-ZB0（略）8

项目名称：（略）

预算金额：（略）

采购需求：

碳基栅叠层项目是为推动碳基芯片的发展而设立，针对碳纳米管衬底的半导体器件，由于碳纳米管直径在几个纳米的范围，在等离子的轰击下很容易被破坏，感应耦合（略）凭借低离子损伤，高精度的刻蚀速率控制，最大程度上减小栅介质刻蚀过程对碳纳米管的损伤。利用原子层沉积的模式精确地控制对介质的刻蚀速率，对氧化铪、氧化铝和氧化钇介质薄膜的刻蚀速率达到小于1nm/cycle,实现对高K栅介质的高精度刻蚀,推动碳基集成电路的发展。具体详见招标文件第四章采购需求。

合同履行期限：（略）

本项目( 不接受 )联合体投标。

二、申请人的资格要求：

1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；

2.落实政府采购政策需满足的资格要求：

无

3.本项目的特定资格要求：(1)投标人必须为投标文件递交截止之日前未被列入“信用中国”网站（（略）gov.cn）、中国政府采购网（（略）gov.cn）信用记录失信被执行人、重大税收违法失信主体、政府采购严重违法失信行为记录名单的；(2)不同投标人的法人、单位负责人不是同一人也不存在直接控股、管理关系；(3)投标人必须向采购代理机构购买招标文件并登记备案，未向采购代理机构购买招标文件并登记备案的无资格参加本次投标；(4)本项目不接受联合体投标；(5)本项目接受进口产品；(6)本项目非专门面向中小企业。

三、获取招标文件

时间：（略）至 （略）每天上午9:00至12:00，下午13:00至17:00。（北京时间，法定节假日除外）

地点：（略）（北京市丰台区广安路9号国投财富广场6号楼1601室）

方式：（略）

（略） 元，本公告包含的招标文件售价总和

四、提交投标（略）

提交投标文件截止时间：2024年05月28日 09点（略）分（北京时间）

开标时间：2024年05月28日 09点（略）分（北京时间）

地点：北京市丰台区广安路9号国投财富广（略）

五、公告期限

自本公告发布之日起5个工作日。

六、其他补充事宜

1、本项目需要落实的政府采购政策：节约能源、保护环境、扶持不发达地区和少数民族地区、促进中小微企业发展、支持监狱、戒毒企业发展（略）

2、本项目招标公告在中国政府采购网（http://（略）gov.cn/）上发布。

七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。

1.采购人信息

名 称：（略）

地址：（略）

联系方式：（略）

2.采购代理机构信息

名 称：（略）

地 址：北京市丰台区广安路9号国投财富广场6号楼1601室

联系方式：（略）010-63509799-8037/8079

3.项目联系方式

项目联系人：（略）

电 话： （略）-8037/8079