真空磁控溅射镀膜设备

发布时间: 2024年05月07日
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****2024年6月政府采购意向-真空磁控溅射镀膜设备 详细情况
真空磁控溅射镀膜设备
项目所在采购意向: ****2024年6月政府采购意向
采购单位: ****
采购项目名称: 真空磁控溅射镀膜设备
预算金额: 300.000000万元(人民币)
采购品目:
A****2402 真空应用设备
采购需求概况 :
能够实现8英寸基底的薄膜沉积,能制备厚度差异在±5%(8英寸)的硫系化合物、氧化物等材料的薄膜沉积。配备至少1个直流和1个射频电源,可以实现2个靶位的共溅射沉积。具有氩等离子体轰击,实现轻微刻蚀。本年度内到货并安装调试完毕。
预计采购时间: 2024-06
备注:

本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写

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2024-05-07
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