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拓扑光子体系三维精密扫描测量装置 | 1.0/套 | 夏睿琪 | XDZ-3(1100)-M | XY轴参数指标 1.*有效行程:X:1100mm Y:1100mm 2.*单点定位精度:0.03mm 3.单轴回程差:0.1mm 4.最大速度:20mm/s 5.两轴垂直度:0.1° Z轴参数指标 1.*有效行程:1000mm 2.*单点定位精度:0.03mm 3.单轴回程差:0.1mm 4.最大速度:15mm/s 5.与XY轴垂直度:0.05° 设备外形尺寸不大于:1400*1500*1600mm,设备总重量不大于300公斤 软件与控制 1.软件兼容性:兼容Windows 7,Windows10等常规系统 2.可精确控制三维扫描平台,并接入矢量网络分析仪,定制扫描范围,中频带宽,输出功率等参数 其他要求 1.XY轴激光网格校准尺:与XY轴平行度±0.5° 2.辅助样品架:与Z轴平行度±2° 3.辅助探针台:可任意摆放,调节朝向 | 一年保修,终身维护。 |