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东南大学 - 竞价结果公告（CB102862024000517）
摘要信息
中标单位
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中标金额
150000.00
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招标详情
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400-688-2000
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***********公司企业信息
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**** - 竞价结果公告（****）
发布时间：2024-05-08 14:03:40
申购单号： ****
申购主题： 薄膜沉积系统
采购单位： ****
竞价开始时间： 2024-04-29 15:15:53
竞价截至时间： 2024-05-07 09:34:45
币种： 人民币
付款方式： 货到验收合格后付款
备注说明：
质疑说明： 如果对成交结果有异议，请在发布成交结果之日起三个工作日内向采购单位提出质疑
成交总额： 150000.0
送货时间： 发布竞价结果后15天内送达
安装要求： 免费上门安装（含材料费）
收货地址：
| 薄膜沉积系统 | 150000.00 | 按行业标准提供服务 | 1、 镀膜室内净尺寸: L440×W400×H450；方箱式，前门旋转往右打开式，304优质不锈钢制造； 2、 真空系统：采用采用 “分子泵+机械泵”真空系统；机械泵抽速：不小于9L/S；分子泵抽速：不下小于：1300L/S； 3、 真空极限：8.0×10-5Pa（空载，经烘烤除气后）； 4、 圆形基片台结构，可承载最大120×120mm 基片；；基片旋转：0～30转/分钟；加热:室温～500±1℃，可控可调，日本岛电PID智能温控闭环控温； 5、 磁控溅射靶源：3只3英寸圆形平面靶； 6、 基片台配有偏压清洗功能，并配有直流脉冲偏压电源； 7、 3台磁控溅射电源； 8、 配有质量流量控制器三路，供Ar、N2、O2气体使用； 9、 配备有循环水冷机和空气压缩机； 10、 PLC+触摸屏人机界面半自动控制系统； 11、 报警及保护：对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施；完善的逻辑程序互锁保护系统。 12、设备配备有独立机架及电控柜； | 1.0台 | 150000.00 | **** |
招标进度跟踪
2024-05-08
中标通知
东南大学 - 竞价结果公告（CB102862024000517）
当前信息
2024-04-29
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