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深圳大学 - 竞价公告（CB105902024000489）

公告-招标公告

广东 -深圳-深圳市

发布时间： 2024年05月10日

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深圳大学 - 竞价公告（CB（略））

发布时间：2024-05-10 17:25:22 截止时间：2024-05-17 12:00:00

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发票类型：（略）

付款方式：（略）

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供应商资质：

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安装要求：（略）

预算：（略）

采购内容数量/单位预算单（略）

（略）

1.0/套

（略）.0

普迪真空

ALD-T100Q

1、真空腔室：6061 铝阳极氧化处理，腔室内尺寸Φ2（略）mm；2、真空系统：双极旋片油泵，抽速（略）16 m3/h；（略）：系统极限优5.0×10-（略），系统真空漏率小于 5*10-10 Pa.m3/s；4、样品台尺寸：4 英寸样品托，兼容 4 inch 及以下样品尺寸；5、样品台温度：4英寸内样品表面加热温度最高可达300℃，温度（略）.5℃；（略）：3路可加热至200℃的金属驱（略）量计控制前驱体源吹扫管道，分别吹扫金属前驱体源和水前驱体源管道；8、生长模式：连续和停留沉积模式选择；9、控制系统：PLC（略）：50-60Hz，380VAC /20A交流电源；11、沉积非均匀性：在4inch硅片上，沉积500ycle氧化铝非均匀性<±1%；12、仪器尺寸：780mm x 750 mm x 1100 mm（长*宽*高）；13、可沉积材料种类：SiO2、TiO2、SnO、FeO、CoO、NiO、Al2O3、ZnO、HfO2、ZrO2、MgO等

按行业标准提供服务

招标进度跟踪

2024-05-21

中标通知

深圳大学 - 竞价结果公告（CB105902024000489）

2024-05-10

招标公告

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深圳大学 - 竞价公告（CB105902024000670）