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原子层沉积设备
摘要信息
招标单位
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招标编号
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招标估价
1250000.00
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招标详情
相关单位：
***********公司企业信息
（略）2024年5至12月政府采购意向-（略） 详细情况
| （略） | |
| 项目所在采购意向： | （略）2024年5至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | （略） |
| 采购项目名称： | （略） |
| 预算金额： | （略） |
| 采购品目： | （略） |
| 采购需求概况 ： | 衬底尺寸和类型:6英寸/单片,3D 复杂表面衬底；工艺温度:30-200℃可调；预真空室预留设备前端模块(EFEM)接口,样品在生长室、预真空室和设备前端模块之间自动传输；4.前驱体:配置5路源，其中3路可加热 。 |
| 预计采购时间： | （略） |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
招标进度跟踪
2024-05-10
招标预告
原子层沉积设备
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