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| 原子层沉积设备 | |
| 项目所在采购意向: | ****2024年5至12月政府采购意向 |
| 采购单位: | **** |
| 采购项目名称: | 原子层沉积设备 |
| 预算金额: | 125.000000万元(人民币) |
| 采购品目: |
A****9900其他仪器仪表
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| 采购需求概况 : |
衬底尺寸和类型:6英寸/单片,3D 复杂表面衬底;工艺温度:30-200℃可调;预真空室预留设备前端模块(EFEM)接口,样品在生长室、预真空室和设备前端模块之间自动传输;4.前驱体:配置5路源,其中3路可加热 。
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| 预计采购时间: | 2024-06 |
| 备注: | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写