开启全网商机
登录/注册
1 | (略) | 名称:(略) 该系统是高能脉冲磁控溅射系统的关键真空部件,其主要包括真空腔部分、真空获得系统、以及多种异性实验腔体。由于该系统属于定制型仪器,也没有现成的商业产品可供直接购置。其功能主要是使腔体实现高真空状态并及进行测量。 配置实验腔主要用于薄膜生长条件探索,包括单cell和特斯拉型9cell无氧铜腔实验腔,9cell特斯拉型不锈钢实验腔。阴极端子、阴极、气体(Kr气)流量阀、UHV(略)(阴极同轴线、线圈电缆)、配电箱(机组、线圈电源、放电电源单独接空气开关)、接地保护等。其中真空腔的设计要求极限真空度≤5×10-8 Pa,实验腔可加热至650℃。 采购数量:1台 | (略).00 | 2024-06 |