8英寸MEMS晶圆生产线之PECVD国际招标澄清或变更公告(2)

发布时间: 2024年05月16日
摘要信息
招标单位
招标编号
招标估价
招标联系人
招标代理机构
代理联系人
报名截止时间
投标截止时间
关键信息
招标详情
相关单位:
***********公司企业信息
***********公司企业信息
项目编号: ****
公告类型: 招标变更
截止时间: 2024-05-27 09:00:00
招标机构: ****
招标地区: **省
澄清或变更简要说明:投标截止时间变更为:2024年5月27日上午9:00
****受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于2024-05-16在中国国际招标网发布变更公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:设备名称:PECVD
设备数量:2台
腔体要求:3腔(单腔双片),其中包含:2个SiH4 base,1个TEOS base;
设备原理及用途:PECVD是腔室在低压高温条件下,通入反应气体,形成等离子体,进行化学反应,在硅片表面淀积薄膜。PECVD主要用于产品中二氧化硅、氮化硅的制备。
资金到位或资金来源落实情况:已到位
项目已具备招标条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目编号:****
招标项目名称:8英寸MEMS晶圆生产线之PECVD
项目实施地点:中国**省
招标产品列表(主要设备):
序号 产品名称 数量 简要技术规格 备注
1 PECVD 2 蝶阀控压精度 ≤1.5%。其他参数详见第八章

3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:① 投标人如为境内企业,提供企****事业单位法人证书,如为境外企业提供企业注册登记证。
② ****制造厂****制造厂商,也可以是设备授权代理商,代理商需有设备原厂家的有效授权书。
③ 投标人开户行开具的,出具日期在开标前三个月内的资信证明原件或该原件的复印件。
④ 投标人需要具有履行合同所必需的设备技术支持和服务能力(提供承诺书,格式自理)。
⑤ 单位负责人授权书原件。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间:2024-04-29
招标文件领购结束时间:2024-05-09
是否在线售卖标书:否
获取招标文件方式:现场领购
招标文件领购地点:苏美达大厦8楼西侧(**市长江路198号)
招标文件售价:¥3000/$400
5、投标文件的递交
投标截止时间(开标时间):2024-05-27 09:00
投标文件送达地点:苏美达大厦辅楼三楼开标大厅301室
开标地点:苏美达大厦辅楼三楼开标大厅301室
6、联系方式
招标人:****
地址:**省**市**大道888号
联系人:陈逊频
联系方式:139****0315
招标代理机构:****
地址:**长江路198号11楼
联系人:江岳峰/朱志云/邓梦诗
联系方式:185****9296、025-****1619
7、汇款方式:
****银行(人民币):
****银行(美元):
账号(人民币):
账号(美元):

附件(1)
招标进度跟踪
2024-05-16
信息变更
8英寸MEMS晶圆生产线之PECVD国际招标澄清或变更公告(2)
当前信息