技术参数 | *1.1.电子枪:预对中型发叉式钨灯丝电子枪; *1.2.分辨率: 3 nm @ 30 kV,SE;5 nm @ 10kV,SE;8 nm @ 3 kV,SE;4 nm @ 30 kV,BSE; 1.3.加速电压范围:0.2 kV~30 kV ; 1.4.放大倍数范围:1 x~300000 x(底片放大倍数,1~16x光学放大); 1.5.电子束束流:数 pA~2 uA; *1.6.中间阳极,采用**极结构设计,能够保证低电压下的分辨率和成像质量(厂家需提供**极硬件证明资料) 1.7.涡轮分子泵1台,≥240 L/s; 1.8.机械泵1台,≥16 m3/h; 1.9.真空控制:全自动,具有真空互锁功能,有效避免误操作; 1.10.样品仓真空度:≤5×10-4 Pa; 1.11.抽真空时间:≤5 min; 1.12.放气时间:≤2 min; *1.13.扩展接口≥13个,可安装多种附件; *1.14.样品台:5轴全自动样品台,全真空内置电机驱动;(提供内置电机证明资料) *1.15.样品台行程:X≥120 mm,Y≥115 mm,Z≥50 mm,T:-10°~ +90°,R:360°连续可调;(需提供官网上彩页证明截图) 1.16.样品仓容积:宽≥340 mm,高≥274 mm,深≥295 mm; 1.17.最大样品尺寸:直径≥270 mm,高≥53 mm; 1.18.样品台承重:≥500 g; 1.19.旁侧二次电子探测器,支持SE和BSE两种成像模式; 1.20.配置背散射电子探测器: 1.21.配置喷金仪 1.22.图像显示:768x512或1536x1024; 1.23.图像保存:最大48kx32k; 1.24.可进行多通道成像,分屏上可同时进行不同信号成像; 1.25.MIX模式,各个探测器分别接收纯净的 SE 或 BSE 信号,如根据需求将ETD和BSED两种探测器的信号进行自动混合,比例可调; *1.26.标配光学导航功能(提供配置垂直CCD相机证明资料) *1.27配置水平CCD相机 1.28.显示方式:全屏显示、分屏显示 ; 1.29.图像存储格式:支持TIFF、JPG、PNG、BMP格式; 1.30.扫描速度:预设四种扫描模式(快扫、中扫、慢扫、选区扫描),扫描速度可自由配置,同时也支持感兴趣区域扫描模式; 1.31.测量功能:支持多种测量标记工具,如长度、角度、直径等; 1.32.图像注释与数据区:提供标准数据区,可在图片上显示各种电镜参数; 1.33.状态菜单:显示各种工作参数; 1.34.自动调整功能:自动聚焦、自动像散、自动亮度对比度等; 1.35.配套计算机配置不低于:windows 10专业版;专用工作站;CPU不低于I5;内存≥16G;硬盘 ≥500G; 1.36.显示器:24寸(专业图像显示器,分辨率1920×1200); 2. 配置要求 2.1 带有五轴的样品台,1套; 2.2 抽速≥16m3/h的机械泵,1套; 2.3 抽速≥240L/s的分子泵,1套; 2.4 二次电子探测器,1套; 2.5 背散射电子探测器,1套; 2.6 电镜操作软件,1套; 2.7 光学导航,垂直角度相机,1套; 2.8 样品仓内实时监控,水平相机,1套; 2.9 工作站、显示器,1套; 2.10 中间阳极,1套; 2.11 工具包,1套; 2.12 组件包,1套; 2.13 喷金仪,1套。 |