实验型狭缝涂布机成交结果公告

发布时间: 2024年05月24日
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实验型狭缝涂布机成交结果公告

发布日期:2024-05-24

项目概况

项目名称 实验型狭缝涂布机 项目编号 ****
开始时间 2024-05-13 14:47 结束时间 2024-05-18 14:47
供应商资格要求 参照《****政府采购法》第二十二条规定的资格条件。 预算金额(元) 355000.00
联系电话 159****0574

成交供应商信息

成交供应商 **** 成交金额 300000
成交理由 符合需求,价格最低

采购货物信息列表

序号 货物(服务)名称 数量 计量单位 预算单价
1 实验型狭缝涂布机 1 ****0000
技术参数 1. 适用基板 a. 基板尺寸:200mm*200mm*t0.4~t4mm b. 基板平整度:<10 um c. 基板浸润性:<="15" ° d. 基板温度:23+-2℃ 2. 适用药液 a. 类型:有机溶剂或者其混合溶剂制成的低粘度药液 b. 粘度:1-70cp c. 固含量:7%-50% 3. 设备工艺性能 a. 成膜方式:狭缝涂布 b. 可成膜厚度:0.5-10um c. 成膜均一性:片内<="7%,片间<=7%(除边10mm,500nm干膜典型" 值,计算方式:[(max-min)/(max+min))]*100% unit规格: 涂布模头: 材质sus630,涂布宽度200mm,平面直线度<="3um,内腔粗糙度" ra<="0.025,狭缝间隙垫片平面精度<=1um/m,间隙调节范围<1=0um," 除边范围<="10mm,涂布头防撞组件:低于唇口20um有效防止唇口发生" 碰撞,涂布头校正:用两个千分表进行水平调节,排泡设计:模头腔 室高位排泡孔; 涂布泵: 泵体材质pfa,密封圈材质pfa,泵容积5ml,驱动控制:伺服电机、 滚动丝杆,吐液分布控制分辨率1.04ul/s,响应时间0.1s; 运动组件: z轴数量2个,z轴分辨率0.1um,z轴驱动控制:千分尺调节,z轴升降 高度0-20mm,y轴驱动形式**移动,平台固定,y轴数量1个,y轴驱 动控制导轨式:伺服电机、同步带、导轨,y轴速度区间0-200mm/s, y轴运动面精度优于+-10um,y轴重复精度<="20um;" 涂布平台: 材质**石,适配基板尺寸200*200mm,表面平整度<="+-5um,基板真" 空吸附定位,平台整板真空孔吸附,基板对位方式手动,取片方式手 动; 供液系统: 管路材质pfa,供液罐玻璃,供液方式:罐体加压(氮气或者cda), 供液中转:供液罐直通供液泵,废液罐:手动排废; 人机交互界面: 触摸屏或者电脑:所有涂布参数可以再该平台设置,或者有专门的数 据编辑电脑,log纪录功能:每片基板的涂布过程可查看,包含涂布 机各轴在涂布过程中时间点速度位置等参数,操作权限:三种操作权 限登录,设备手动、半自动、自动动作可全部在界面进行操作。
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