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聚焦离子束双束微纳加工表征系统
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6200000.00
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招标详情
相关单位：
***********公司企业信息
****2024年7月政府采购意向-聚焦离子束双束微纳加工表征系统 详细情况
| 聚焦离子束双束微纳加工表征系统 | |
| 项目所在采购意向： | ****2024年7月政府采购意向 |
| 采购单位： | **** |
| 采购项目名称： | 聚焦离子束双束微纳加工表征系统 |
| 预算金额： | 620.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A****0305电子光学及离子光学仪器 |
| 采购需求概况 ： | 1. 二次电子像分辨率：≤0.9nm（15 kV），≤1.7 nm（1kV）； 2. 离子源种类：液态Ga离子源； 3.离子束系统分辨率：≤4.0nm @ 30kV； 4. 离子束系统束流强度范围：1.5pA-90nA。 配置要求：1、高分辨扫描电子显微镜；2、高分辨能谱仪；3、离子束系统；4、沉积系统；5、高精度纳米机械手。 |
| 预计采购时间： | 2024-07 |
| 备注： | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
招标进度跟踪
2024-05-24
招标预告
聚焦离子束双束微纳加工表征系统
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