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| 大数据C栋实验室设备采购项目(十) | |
| 项目所在采购意向: | ****2024年04月(至)06月政府采购意向 |
| 采购单位: | **** |
| 采购项目名称: | 大数据C栋实验室设备采购项目(十) |
| 预算金额: | 300.000000万元(人民币) |
| 采购品目: |
A****9900其他仪器仪表
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| 采购需求概况 : |
1、晶圆尺寸:适用于12寸及以下任意尺寸晶圆; 2、设备功能:测量半导体晶圆的厚度,TTV,Bow, Warp,折射率,多层膜厚度,金属膜厚度,空气层厚度,平整度等参数; 3、工作台:采用高精度电动线性工作台,最大移动速度≥60mm/s,移动范围:≥450mm*305mm; 4、探头:配置同轴对称的双红外测量探头;
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| 预计采购时间: | 2024-06 |
| 备注: | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写