大数据C栋实验室设备采购项目(十)

发布时间: 2024年06月03日
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****2024年04月(至)06月政府采购意向-大数据C栋实验室设备采购项目(十) 详细情况
大数据C栋实验室设备采购项目(十)
项目所在采购意向: ****2024年04月(至)06月政府采购意向
采购单位: ****
采购项目名称: 大数据C栋实验室设备采购项目(十)
预算金额: 300.000000万元(人民币)
采购品目:
A****9900其他仪器仪表
采购需求概况 :
1、晶圆尺寸:适用于12寸及以下任意尺寸晶圆; 2、设备功能:测量半导体晶圆的厚度,TTV,Bow, Warp,折射率,多层膜厚度,金属膜厚度,空气层厚度,平整度等参数; 3、工作台:采用高精度电动线性工作台,最大移动速度≥60mm/s,移动范围:≥450mm*305mm; 4、探头:配置同轴对称的双红外测量探头;
预计采购时间: 2024-06
备注:

本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写

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