招标详情
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400-688-2000
项目名称
| **科晶快速退火炉 | 项目编号
**** |
公告开始日期
| 2024-06-03 10:29:14 | 公告截止日期
2024-06-06 11:00:00 |
采购单位
| **** | 付款方式
货到验收合格后付款 |
联系人
| 联系电话
|
签约时间要求
| 到货时间要求
签订合同后3个工作日内 |
预算总价
| ¥113000.00 |
发票要求
|
含税要求
|
送货要求
|
安装要求
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收货地址
| ****大学西街235号卓越楼105室 |
供应商资质要求
| 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 |
公告说明
|
采购商品 采购数量 计量单位 所属分类
| **科晶快速退火炉 |
2 |
台 |
工业电热设备(电炉) |
品牌
| **科晶 |
型号
| OTF-1200X-4-RTP@CW-5000AI@VRD-8 |
预算单价
| ¥ 56500.00 |
技术参数及配置要求
| 一、炉膛结构及特点: 1双层钢制外壳,风冷,使炉表面温度低于60℃。 2高纯度纤维状氧化铝绝缘,最大限度地节约能源。 3带联锁保护的分体式盖子,如果盖子在熔炉加热过程中打开,则切断电源。 4超大管径内径φ100mm,外径φ110mm。 5最高温度可达1100℃。 6法兰上安装有滑轨可直接推拉操作 二、工作温度: 1最大1100oC,持续时间<10分钟 2最大1000oC,持续<20分钟(注意:如果运行时间更长,炉壳将>100oC,必须使用风扇从外部冷却炉壳) 3最大800oC,持续时间<120分钟 4连续温度最高600oC 三、基本参数: 1设备电源:208-240 AC,50/60 Hz单相,最大12KW(单相80A空开) 2法兰:KF-25D型不锈钢高真空法兰 3加热区长度:190mm 4控温精度:+/-1℃(欧陆表型温控仪表可达0.1℃) 5热电偶:可插入式的铠装热电偶,进口K型热偶, 紧贴在放样品的AlN片下 6最大功率:12KW 7循环水流量:0.5 m3/h 8标配流量计量程范围:16-160 ml/min 四、加热元件:短波红外灯管 五、温控系统: 1 858温度控制器。 2比例-积分-微分控制(PID控制)和自动调谐功能 3 50个分段,编程有斜坡、冷却和停留步骤 4 内置超温报警和热电偶故障报警 5 +/-1oC温度控制精度 6 默认DB9 PC通信端口 六、石英管和样品架: 1石英管尺寸:外径4.33英寸x内径4.05英寸x长度16.2英寸。 2包括一个直径为3“的AlN样品支架,用于对直径不超过3”的样品进行退火。AlN具有非常高的热导率, 这在样品区域中提供了最佳的温度均匀性。样品支架可从法兰上拆卸,以便将RTP炉用于其他用途 3可选:3英寸外径厚的石墨基板可作为AIN板的替代品。 4可选:石墨坩埚:外径87 mm x内径71 mm x高度12 mm,带盖,设计用于3“样品架,也可以改装为RTE、CSS或HPCVD炉,带有涂有SiC的石墨坩埚。 七、真空法兰: 1KF-D25高真空法兰由不锈钢制成,具有双重高温。硅胶O型圈、针阀和水冷套。 2它只需要在温度>600摄氏度的长时间运行中进行水冷。 3循环水流量:0.5 m3/h。 4滑出式法兰提供了一种更简单的方式来装载、卸载样品和其他所需的特定过程。 5插入式热电偶,实现精确测量。 八、真空泵: 九、1 抽气速率:2.2 L/S 2 电机功率:370 W 3 极限压强:5×10-1Pa(不带负载) 九、水冷机: 1工作电压:AC 208-240V 2 工作电流:3.5-5.6A 3制冷量:722Kcal/h( 2866Btu/h) 4出入口:外径Φ 10mm铜咀 5 压缩机功率:300W,水箱容量:6L 6最大流量:16L/min 十、真空压力和气体接头: 1使用带有KF25适配器的机械真空泵,压力可以达到50以上 2通过带有KF25适配器的分子泵,压力可以达到10-4ttor 十一:配件 1配2英寸样品支架一套, 2载样片一个,可实现无遮挡照射 3含有坩埚1个, 4热电偶一根, 5陶瓷柱2个 6双极真空泵VRD-8含连接件 |
参考链接
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售后服务
| 技术支持:7x24小时;售后服务:三年;服务响应时限:报修后2小时;质保期:一年;培训要求:培训一次;是否含税:国产含税;1投标商报价及签署合同须提供生产厂家针对本项目的授权书及售后服务承诺书。2本次所购仪器为现有设备配套使用,参数中不可能提及所有使用要求。因此投标人就使用场景须与采购人沟通或承诺无条件满足用户在使用中的所有要求(包括不限于预算限制)3供货商须提供本地化售后服务承诺,设备发生故障时须1小时内到达现场; |