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| Diener等离子清洗机系统 | 1.0/台(套) | 纳恩(本地化售后服务) | NE-PE13H(DZ) | 1.全自动阻抗匹配固态射频电源 2.频率13.56MHz 3.功率300W可调 4.316不锈钢腔体,腔体尺寸240mm(宽)*280mm(深)*200mm(高) 5.单层有效处理面积210mm*204mm,可处理层数3层 6.高导电铝合金专用电极,CCP RIE离子反应放电模式 7.2路MFC质量流量控制系统 8.皮拉尼式真空计 9.16m3/h抽速双级旋片式真空泵 10.三菱PLC+7寸触摸屏 11.自主专利设计等离子控制系统,工艺配方可存储、调用 12.专业气路系统 13.设备前处理装置 | 按行业标准提供服务(提供本地化安装调试及售后服务) |