磁控溅射仪采购项目采购公告

是否接受进口

拒绝进口

品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

1.溅射室极限真空度：≤6.0x10-5 Pa (经烘烤除气后)；系统真空检漏漏率：≤5.0x10-7Pa.l/S；
系统从大气开始抽气：溅射室25分钟可达到7x10-4 Pa；
系统停泵关机12小时后真空度：≤5Pa
2.3套高性能永磁共焦磁控溅射靶（其中含一个强磁靶,各溅射靶距离可调）。分布在一个圆周上，各靶可独立/顺次/共同工作，磁控靶通水冷却，采用磁控靶在上，垂直向下溅射成膜，磁控靶RF、DC、MF兼容，可以溅射磁性材料，磁控靶配有气动挡板截流结构。
3.样品台布置在真空室底部，可放置最大直径100mm样品，样品具有连续旋转功能，旋转0—30转/分连续可调。
4.加热装置在采用进口电阻丝进行加热，加热温度：室温—500°C，由热电偶闭环反馈控制，可控可调。
5.质量流量计+MFC控制进气系统（氩、氧、氧），流量分别为100SCCM、50SCCM、20SCCM。
6.配有2台数字式500w脉冲直流电源和1台500w全自动匹配射频电源。1套-1000脉冲偏压电源

质保期

质保期限为1年

售后要求

1、设备安装、调试和验收：卖方在合同生效后的1个月内向用户提供详细的安装要求并提供技术咨询；仪器到达用户指定交货地点后，根据用户的时间安排，仪器制造商（或代理商）在接到用户通知后15天内进行安装调试，直至通过验收。 2、技术培训：在用户所在地对用户技术人员（至少2人）进行至少两天的培训，培训日程视实际情况另定；培训内容包括仪器的技术原理、操作、数据处理、基本维护等。 3、厂家保证提供及时优质的售后服务，提供7×24小时的售后服务，接到用户需求后8小时内响应，如有需要48小时内到达用户现场。 4、质保期过后，厂家对仪器提供终身维修服务，能提供广泛、即时、优惠的技术服务，并提供质量上乘、价格合理的各种配件。