场发射扫描电子显微镜

A****0305电子光学及离子光学仪器

1. 场发射电子枪，具有自动烘烤、自动电子枪对中功能 2. 分辨率：SE分辨率 15KV：0.6nm；1KV：0.7nm 3. 放大倍率：最小≤20倍，最大≥2,000,000倍 4. 加速电压：0.5～30kV (10V/step)；着陆电压：0.01～20kV (10V/step) 5. 自动电子光路对中调整：自动电子束对中，自动光阑对中，自动像散对中，自动对焦调整，自动亮度对比度调整，自动像散调整 6. 物镜光阑：自清洁可加热式光阑 7. 信号检测系统：具有高位探测器、低位探测器及ExB信号选择系统，高位探头安装在物镜上方，可以接收SE、HA-BSE、LA-BSE，可以按比例选择接收SE和BSE信号，并可以在2kV以下对BSE成像。低位探测器可以大工作距离成像，立体展示样品信息 8. 样品室：5轴优中心马达驱动，标配6英寸预抽室，具有样品安装到位提示， X：0-110mm，Y：0-110mm，Z：1.5-40mm，R：360°，T：-5°～70°；样品尺寸最大直径150mm，最大高度36mm 9. SEM-MAP光镜导航功能：一体化导航相机，最大导航视野直径75mm 10. 真空度：电子枪部分优于2x10-7Pa；样品室部分优于2x10-3Pa 11. 图像储存：640×480， 1280×960，2560×1920，5120×3840像素，照片包括编号，加速电压，标尺，放大倍率，日期，时间，工作距离等信息 12. 大面积电制冷能谱仪：硅漂移（SDD）电制冷探测器，能量分辨率：在130,000CPS条件下Mn-Ka优于129eV，轻元素分辨率C-K/57eV, F-K/67eV，元素分析范围: Be4～Cf98