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高真空电阻蒸发镀膜设备（GY202401949）采购公告

公告-招标公告

山东 -济南

发布时间： 2024年06月12日

摘要信息

招标单位

招标编号

招标估价

招标联系人

招标代理机构

代理联系人

报名截止时间

投标截止时间

关键信息

电阻蒸发镀膜设备

招标详情

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相关单位：

***********公司企业信息

项目名称项目编号公告开始日期公告截止日期采购单位付款方式联系人联系电话签约时间要求到货时间要求预算总价发票要求含税要求送货要求安装要求收货地址供应商资质要求公告说明

高真空电阻蒸发镀膜设备	****
2024-06-12 15:04:13	2024-06-17 16:00:00
****	货到验收合格后付款

	签订合同后60天
￥300000.00




****
符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购清单1

采购商品采购数量计量单位所属分类

高真空电阻蒸发镀膜设备

台

电气物理设备

品牌型号预算单价技术参数及配置要求参考链接售后服务

******公司

VZZ-400

￥ 300000.00

1) 真空腔室： Φ400×H500mm； 2) 真空极限：优于 2.5×10-5Pa； 3) 抽速：分子泵完全启动，抽至 4.0×10-4Pa≤15min； 4) 基片台尺寸：最大可镀基片尺寸/面积： 112×112mm，该范围内可装卡 15～25mm 方形 ITO/FTO 玻璃/硅片 16～25 片；样品台配有气动挡板，磁流体密封；样品台旋转：旋转速度 0-25 转/分连续可调，磁流体密封，光控定位，设定在前门中心位置方便取样；样品掩膜：提供一块掩膜板（掩膜图案客户提供）；样品台水冷：采用基片台背板通冷却循环水强制水冷； 5) 蒸发源及电源：安装 4 组蒸发源，其中 3 组舟式/挂丝式金属蒸发源， 1 组束源炉式有机蒸发源；金属用蒸发电源： 2.2Kw 1 台；有机源用蒸发电源： 1 组温控型电源，最高加热温度 600℃； 6) 膜厚监控：采用薄膜沉积监控仪在线监测蒸镀速率、自控膜厚； 7) 控制方式： PLC 手自动控制，触摸屏操作； 8) 特别定制：掩膜板一块

服务网点:当地;质保期限:2年;响应期限:报修后24小时;