申购单主题:小型 RTP 快速升温 CVD 设备
申购单位:****
设备1
设备名称:小型 RTP 快速升温 CVD 设备
品牌:不指定品牌
型号:不指定型号
数量:1.0
报价类型:国内含税价/人民币
售后服务:
规格:1:快速升温炉 功率:10 KW ﹒ 额定电压:220V(AC) ﹒ 最高加热温度:1200℃ ﹒ 额定温度:1100℃ ﹒ 稳定状态温度范围:100~1050℃ 温度控制精确度:±1℃ 温场均匀性:±2℃ 最快升温速率 :30℃/s 炉管尺寸 :高纯石英管Φ90*400*R45mm ﹒加热区长度:230mm 控温方式:模糊 PID 控制和自整定调节, 智能化 30 段可编程控制, 具有超温和断偶报警功能 传感器:K型 标准配置 : 石英管 1 根, 不锈钢密封水冷法兰 1 套, 硅胶密封圈 2 套, 高温手套 1 副; 石英支架 1 只 2▲ 供气系统(3路): 该供气系统是一种可控制 3 种气体按不同流量进行混合配比, 也可根据实验需求加装洗气装置, 质量流量计安装于密封的可移动机柜内, 由超洁双抛不锈钢管与精密双卡套接头连接组成。 触摸屏控制, 此款设备与 BEQ 品牌的各款真空管式炉和真空机组组成 CVD 系统 工作电压: 185~245V, 50 Hz 最大输出功率: 18W 流量计标准量程: 甲烷 100sccm 氢气 200sccm 氩气 500sccm、 (气体及量程可选) 工作温度: 4~45℃ 工作压差: 0.1~0.5Mpa 最大压力: 3Mpa 准确度: ± 1.5%F.S 压力表测量范围: -0.1~0.15 MPa(0.01 MPa/grid) 针阀: 316 不锈钢 混气罐: Φ 80*120mm 截止阀: Φ 6.35mm 3▲真空系统VAU-02 : 低真空机组:VAU-02 是一套低真空机组, 内部安装 DRV-10 机械泵 1 台, 进口真空计 1 套, 并含有配套使用的波纹管, 手动挡板阀, 卡箍等连接部件。 设备冷态极限真空可达 0.5Pa。 技术参数: 空气相对湿度≤85% 工作电电压: 220V±10% 50~60HZ 功率: 1 千瓦 抽气速率: 10m3/h 实验真空度: 5.0X10-1Pa 容油量: 1.1L 进气口口径: KF25 排气口口径: KF25 转速: 1450rpm 噪音: 50dB 外型尺寸:600× 600× 650m 进口真空计参数: 型号 PCG550 英福康 INFICON 由 INFICON 公司专有的陶瓷电容传感器和皮拉尼传感器组成。 其测量范围为 3.8x10-5至 1125Torr.当气压在 10mbar 以上时, 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。 具有较高的精确度和重复性, 响应时间较短(≤30ms) 4▲冷水机CW-5000TG: 工作电压: AC208-240V 50hz 工作电流: 1.4-2.1A 压缩机功率: 0.295kw 制冷量: 2361btu/h 水箱容量: 6L 最大流量: 10L/min 安全保护: 压缩机过流保护流量报警, 超温报警 "
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