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高真空电阻蒸发镀膜设备（XHGD-CG-2024208）采购公告

公告-招标公告

浙江 -杭州 -富阳区

发布时间： 2024年06月12日

摘要信息

招标单位

招标编号

招标估价

招标联系人

招标代理机构

代理联系人

报名截止时间

投标截止时间

关键信息

电阻蒸发镀膜设备

招标详情

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项目名称项目编号公告开始日期公告截止日期采购单位付款方式联系人联系电话签约时间要求到货时间要求预算总价发票要求含税要求送货要求安装要求收货地址供应商资质要求公告说明

高真空电阻蒸发镀膜设备	****
2024-06-12 17:37:06	2024-06-15 19:00:00
****	预付40%，到货后支付50%，验收合格后支付10%

	签约后3个自然日
￥150000.00




市区路68号**
符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购清单1

采购商品采购数量计量单位所属分类

高真空电阻蒸发镀膜

台

品牌型号预算单价技术参数及配置要求参考链接售后服务

￥ 150000.00

1. 真空腔室：直径不小于300mm，高度不小于420mm；采用上钟罩（高硼硅玻璃）+下底座（304不锈钢）结构； 2. 真空系统：主泵采用分子泵，分子泵抽速不小于551L/s，前级泵抽速不小于6L/s；（*需提供相关证明文件） 3. 真空极限：优于3.0×10-5Pa； 4. 抽速：抽至3.0×10-4Pa≤10min； 5. 基片台尺寸：最大可镀基片尺寸不小于φ100mm，衬底水冷； 6. 可在线监测镀膜速率和厚度，蒸镀速率分辨率不低于0.1埃/S；（*需提供相关证明文件） 7. 蒸发源及电源：不少于两组蒸发源，陶瓷绝缘结构，预留拓展至多四组蒸发源孔位；不少于1台蒸发电源，功率不小于2.3Kw；（*需提供相关证明文件）

服务网点:当地;电话支持:7x24小时;服务年限:一年;服务时限:报修后2小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期:两年;